반도체 웨이퍼를 세척하는 장비 안에 들어가는 정밀 부품을 만드는 (주)HS하이테크는 경기 화성시에 본사를 두고 있습니다. 이 부품들은 웨이퍼를 회전시키거나 약액을 미세하게 분사하며 온도를 조절하는 등 세정 공정의 핵심 역할을 수행합니다.
엔지니어링 플라스틱과 세라믹 등 다양한 소재를 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거칩니다. 2018년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 6,273.5㎡입니다.
반도체 웨이퍼의 불순물을 제거하는 세정 공정 라인에 들어가는 부품이라 반도체 산업으로 나갑니다.
LED Heating System은 12채널을 개별 제어해 웨이퍼를 최대 400℃까지 가열하며 온도 균일도를 ±3% 이내로 유지합니다. MC-PFA는 고순도 PFA에 카본을 섞어 전도성과 사출성을 갖춘 복합소재로, Cup이나 Spin Chuck 같은 복잡한 형상의 부품을 성형할 때 씁니다. Spin Chuck은 300mm와 200mm 공정의 웨이퍼를 고정하는 척으로, 사용 온도 45~220℃와 12종 약액 환경에 대응합니다. Chamber Parts는 Bowl, VAT, Chemical Tank 등 세정 챔버 내부의 플라스틱 부품을 제작합니다.
UV 레이저로 직경 5~100㎛의 미세 홀을 가공하며, Quartz, Sapphire, PVDF, PEEK, PCTFE, Steel, Aluminum 등 다양한 재료를 다룹니다. Micro Fluidic Channel과 Micro Slit Nozzle, Orifices를 제작합니다. In-House 시스템으로 설계, 가공, 조립, 품질 검증을 사내에서 일괄 수행하며, 정밀 3D 측정 기반의 역설계 프로세스도 갖추고 있습니다.
머시닝 센터 18대, CNC 자동선반 14대, 라우터 3대, 레이저 드릴링 1대를 보유하고 있습니다. 2007년 화신하이테크로 설립된 후 2012년 사명을 HS하이테크로 변경했으며, 2016년 동탄산업단지로, 2021년 화성 정남산업단지로 사옥을 이전했습니다. 시흥시에도 사업장을 두고 있습니다.