(주)앤피에스

온도 제어 기술: 파워 제어 알고리즘, 온도 제어 알고리즘 및 최적의 하드웨어 구성을 통한 정밀 온도 제어

DSP 기반 온도 제어기: 아날로그 신호를 디지털로 변환 처리하여 PID 제어 및 CAN 통신을 통해 실시간 전력 제어기로 전달하는 자체 개발 DSP Board 적용

고성능 히터 제조 기술: 램프 배열, 고반사경 설계, 고효율 텅스텐 할로겐 램프 제작 및 냉각 최적화 기술

Chamber 최적화 설계 기술: 시스템 간 용이한 접속, 챔버 볼륨 최적화, 공정 가스 분배 최적화 및 간편한 예방 점검(PM) 구조

회전 모듈 개발 기술: 고속 회전 모듈, 오염 최소화 구조, 비접촉식 회전 모듈 및 고온 내열성 회전 모듈 기술

진공 기술: 산소 농도 제어(< 5 ppm), 정밀 압력 제어, 진공 및 대기압(ATM) 공정 호환 설계

공정 가스 믹싱 기술: N2, O2, Ar, N2O, NO, NH3, H2, H2O, H2S, H2Se 등 다양한 공정 가스 제어 및 혼합

RHP150: 실리콘, 유리, 사파이어 공정처리용 급속 열처리 장비 (2”~6” 웨이퍼 및 150mm 원형 사파이어 웨이퍼 대응)

RHP150 PLUS: 비접촉식 파이로미터 다채널 온도 제어 및 기판 회전 모듈이 적용된 6인치 기판 어닐링용 RTP 장비

RHP200: 메모리 및 로직 디바이스용 200mm 실리콘 웨이퍼 급속 열처리 장비 (Stand Alone 또는 Backbone Type)

RHP440: 2인치 또는 4인치 사파이어 웨이퍼 ITO 어닐링용 급속 열처리 시스템 (Multi-pocket Susceptor 장착)

RHP620: 6인치 실리콘 및 사파이어 웨이퍼 어닐링용 급속 열처리 시스템 (2 Chamber 구성 지원)

RHP640AVP: 6인치 사파이어 웨이퍼 ITO 어닐링용 전자동 4 Chamber 급속 열처리 시스템

RHP300V RT-CVD: 진공 고온 분위기에서 탄화계열 가스를 열분해하여 금속 촉매 기판 상 그래핀을 합성하는 급속 열처리 장비

RHP470V CIGS: Mo glass 기판을 H2Se 분위기에서 어닐링하는 CIGS 박막 태양전지 제조용 급속 열처리 장비

RHP150 MLCC: 다층 세라믹 캐패시터의 고온 장시간 소결 및 바인더 제거를 위한 특수 목적 급속 열처리 장비

RHP300PA: Wet Etching 장비 내 고온인산(H3PO4) 및 황산(SPM) 질화물 식각 공정용 300mm 웨이퍼 대응 램프 가열 모듈

RHP Infinity: 태양광 박막제조용 PECVD 대형 기판 사전 예열(Pre-heat)용 대면적 램프 히터 모듈 (최대 길이 2000mm 대응)

Tungsten Halogen Lamp: 벌브형 및 선형 텅스텐 할로겐 램프 (고효율, 안정적 색온도, 우수한 가열/냉각 반응성)

CE 인증 (Rapid Thermal Process System_RHP620, 2011년 10월)

CE 인증 (RHP300 Wet bench용 고온인산장비, 2012년 11월)

CE 인증 (RTP System_RHP640V, 2013년 12월)

벤처기업 인증 (2008년 4월)

기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 확인서 (중소기업청, 유효기간: 2013년 4월 14일 ~ 2016년 4월 13일)

기업부설연구소 인정서 (한국산업기술진흥협회, 2010년 6월 15일 설립)

중국 특허 등록: SUSCEPTOR UNIT AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME (등록번호: ZL 2010 1 0528673.6, 등록: 2013년 10월 / 출원: 2010년 10월)

대만 특허 등록: SUSCEPTOR UNIT AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME (등록번호: I 442510, 등록: 2014년 6월 / 출원번호: 99136500, 출원: 2010년 10월)

미국 특허 출원: RT-CVD(그래핀 합성용) 시스템 (출원번호: 13/416,071, 2012년 3월)

경기도 유망중소기업 선정 (경기도지사, 인증기간: 2011년 9월 1일 ~ 2016년 8월 31일)

유망중소기업 선정서 (주식회사 신한은행, 2011년 7월 12일)

2015년 강소기업 선정 (2014년 12월)