(주)우주이엔지

로봇 수리 공정은 입고 전 진단부터 정밀 진단, 완전 분해, 부품 세척 및 교체 조립, 보정 및 테스트, 출하까지 체계적인 4단계 프로세스로 진행됩니다.

• 1단계 - 사전 작업 및 정밀 진단(Pre-Work & Precision Diagnosis): 외관 검사, 데이터 다운로드, R·T·Z 기능 및 수명 점검, 에러 로그 분석, 모터 전류 측정, T1/T2 샤프트 런아웃 점검, Z축 자유낙하 검사, I/O 점검

• 2단계 - 로봇 분해(Disassemble): PCB, 컨트롤 부품 브라켓, Z축 모듈 및 엔코더 모듈, 볼스크루/브레이크, T1/T2 모듈, 베어링, 아마추어, 마그넷, 리니어 가이드 및 레일 완전 분해

• 3단계 - 세척 및 조립(Assemble): 부품 세척, 불량 부품 선별 및 교체, 리니어 가이드/모듈 조립, 엔코더 조립 및 튜닝, 모듈 캘리브레이션

• 4단계 - 보정 및 출하 테스트(Calibration & Test / Shipment): R·T·Z 초기 진단 및 데이터 다운로드, 최종 적합성 테스트(Life Test, 고속 테스트, 팬 속도 테스트, 웨이퍼 슬립 및 배치 테스트, 리크 테스트), 출하 검사(QC) 및 포장

• 진공장비 서비스: 진공장비 셋업, 급소작업, TO / T1 및 해체이설

• 제너레이터 수리: RF 제너레이터(RF Generator), 오존 제너레이터(Ozone Generator), MKS 제너레이터, RPS 수리

• Brooks 수리 로봇 및 유닛: Magnatran 7 Robot, Magnatran 8 Robot, Reliance 3-axis ATM Robot, Reliance 4-axis ATM Robot, Controller (ATR8, MAG8), AcuLigner

• 로봇 암(Arm): BiSymmetrik Arm, LeapFrog Arm, SCARA Arm, Brooks Armset(INNOVA, ALTUS, JUSUNG 등 규격 대응)

• 기타 수리 로봇 및 블레이드: KAWASAKI Robot, Asyst Robot, AMAT Robot, LAM 진공/ATM 로봇 블레이드, NOVELLUS 블레이드, YASKAWA 블레이드, KAWASAKI 블레이드

• 알루미늄 프로파일 가공품: 프로파일 대차, 트레이, 워크 펜스(WORK FENCE)

• 클린룸 수리 구역: Class 1000 Clean room Repair Zone (반출입 대기실, 세척존, A/S 및 자재창고 구비)

• 진공 로봇 테스트 시스템: Vacuum robot test stand (Mag 7, Mag 8 대응)

• 대기(ATM) 로봇 테스트 시스템: ATM robot test stand (ATR 8 3-axis, ATR 8 4-axis 대응)

• 성능 평가 시스템: 2 Test Systems, 로봇 및 암 테스트 스탠드 (Qualification Test, 반복정밀도 Test, 정밀도 Test)

• 신뢰성 검사 시스템: 72시간 Cycle Test 시스템 (출고 전 retract / vibration / reliability 진단)

• 레이저 센서 측정 장비: 측정 중심 거리 40mm, 측정 범위 ±10mm, 직진성 ±0.2%(측정 범위)

• 수리 및 품질검사 데이터 측정 툴 및 전용 소프트웨어

반도체 장비 약 630대 및 기타 생산 설비 약 1,600SET 이상의 셋업·개조 실적을 보유하고 있습니다.

• 반도체 장비 셋업 및 해체이설: LAM ETCH 장비 약 500대('17~), 원익IPS CVD/METAL 장비 약 100대('19~), APTC ETCH 장비 약 30대('21~)

• Load Port Modification: 1,280 SET

• L사 EFEM 개조: 124 SET

• B사 히팅자켓 진공장비 셋업: 124 SET

• T사 라미네이터 조립 & 셋업: 36 SET

• D사 본딩기 조립 & 셋업: 12 SET

• L사 PRI 조립 & 셋업: 8 SET

• 기타 장비 유지보수: H사 솔라셀 RPCVD/PECVD 장비 유지보수, S사 Thin Film 장비 유지보수