반도체 제조 장비의 진공 시스템 핵심 부품인 펌프 랙 시스템과 진공 배관을 제작하는 (주)디노솔루션은 경기 오산시에 본사를 두고 있습니다. 이 제품은 반도체 웨이퍼 가공 과정에서 필요한 진공 상태를 유지하기 위해 펌프와 배관을 하나로 묶어 설치하는 구조물입니다.
스테인리스강(SUS)을 원자재로 사용하여 정밀 가공과 조립 공정을 거칩니다. 2023년부터 오산에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 1,294㎡입니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정의 진공 배기 라인에 들어가는 부품으로, 장비 내부 및 외부 배관 연결에 사용됩니다.
Pump Rack System은 진공 펌프 구동용 전기, 유틸리티, 진공 배관을 포함한 규격화된 랙으로, 설비 배치 효율을 높이고 유지보수 공간을 확보하는 데 쓰입니다. 진공 배관은 공정부산물 배출 및 설비 간 연결을 담당하며, Bellows & Flexible Tube는 배관 간 진동 흡수 및 열 팽창 보정 역할을 합니다.
SUS 재질을 이용한 용접 공법으로 Bellows 및 Flexible Tube를 전문 제작하며, 2D·3D 설계를 통해 맞춤형 제작을 수행합니다. Auto Tube Bending 장비로 최대 ∮38 사이즈 파이프를 190˚까지 정밀하게 굽혀 복잡한 파이프 가공을 처리합니다.
최신형 Fiber Laser 설비와 자재 자동 투입장치, 최신 절곡기를 보유하고 있습니다. 2025년 7월 오산시 가장산업서북1로 78(지곶동)으로 이전하여 가장 3산업단지에 입주했습니다.