㈜아카테스세미콘(ACHATES SEMICON Co., Ltd, 구 한국시스톰)은 2003년 5월 1일 설립된 반도체 장비 서비스 및 고기능성 부품·소재 공급 전문 기업입니다.
2003년 설립 후 노벨러스(Novellus) 장비 리퍼비시 및 특수 O-ring 대리점 사업을 시작하였으며, 2009년 6월 현재의 사명으로 변경한 이후 글로벌 반도체 장비 프로젝트와 부품 공급 사업을 지속적으로 확장해 왔습니다.
반도체 산업 내 원스톱 솔루션 제공자(One Stop Solution Provider)를 지향하며, 고객의 요구를 뛰어넘는 품질 표준 달성과 지속적인 개선, 신뢰 기반의 프로젝트 관리를 핵심 가치로 삼고 있습니다.
CVD/PVD 장비 서비스: LAM(구 Novellus) 및 Gasonics CVD 장비(150mm/200mm/300mm 웨이퍼용 Concept 1, 2, 3 시리즈 등) 대상 리퍼비시, 설치, 이전, 업그레이드, 웨이퍼 구경 전환 및 공정 개조 서비스
반도체 부품 조달 및 수리(Spare Parts): 200mm/300mm 웨이퍼 장비용 OPM 인증 부품 공급, 서브모듈 오버홀 및 수리(Rebuild & Design), 성능 개선 키트(CIP), 2nd Source 부품 공급
PPE(Precision Polymer Engineering) O-Ring/Band: 직경 1mm~2.6m 규격의 고성능 O-Ring, 특수 씰 및 가스켓(X-Seals, Lip seals), 정밀 성형 부품, Bonded Elastomer 제품
Porvair 가스 필터 및 디퓨저: 반도체 및 디스플레이 공정용 고순도 가스켓 필터(High Purity Gasket Filters), POU(Point of Use) 필터, 유량 제한기(Flow Restrictors), 챔버 벤트 디퓨저
Chemours 칠러 냉매: 반도체 공정장비 Chiller의 Sub-Module로 사용되는 친환경 불소계 냉매/열전달 유체(Opteon™ SF10)
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