반도체 공정에 쓰이는 특수가스를 다루는 밸브와 가스 공급 장치를 만듭니다. 이 장비는 미세한 누출을 막고 가스의 흐름을 정밀하게 제어하여 칩 제조 과정의 안정성을 유지하는 데 쓰입니다. 대전 유성구에 본사를 둔 (주)루스테크는 이러한 산업용 특수 기자재를 생산하고 있습니다.
특수가스 밸브와 가스 공급 시스템의 핵심 부품을 정밀 가공한 뒤 조립하는 공정을 거칩니다. 2012년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설의 넓이는 330.0㎡입니다.
반도체, 에너지, 제약 및 바이오, 우주항공, 식음료 등 다양한 산업의 공정 설비에 들어가는 부품입니다. 특히 반도체 공정의 초고순도 가스 라인이나 에너지 분야의 수소 처리 설비에서 흐름 제어와 안전성을 담당합니다.
반도체 및 디스플레이 공정에 쓰이는 실린더 밸브와 다이어프램, 벨로우스를 만듭니다. 이 부품들은 가스의 흐름을 차단하거나 조절하며, 금속 및 플라스틱 소재의 볼 밸브와 버터플라이 밸브도 생산합니다. 또한 레귤레이터와 필터를 공급하여 가스 라인 내의 압력을 일정하게 유지하고 불순물을 제거하는 역할을 합니다.
반도체 공정의 까다로운 환경에 맞춰 산세척과 무유분 처리를 수행합니다. 표면 조도를 엄격히 관리하고 누출률을 최소화하는 공법을 적용하여 초고순도 가스 및 케미칼 라인에 요구되는 조건을 충족시킵니다. 이를 통해 시설 운영의 효율성과 정밀한 흐름 제어, 그리고 안전성을 확보합니다.
본사는 서울특별시 중구 동호로24길 27-10에 위치해 있으며, 지사는 대전광역시 유성구 테크노8로 53-9에 있습니다. 25년간 국내 반도체용 특수가스 시장에서 다양한 타입의 밸브를 공급해 왔으며, 최근에는 홈페이지 리뉴얼을 통해 새로운 단장을 마쳤습니다.