(주)한우리시스템

경기 시흥시에 위치한 한우리시스템은 디스플레이와 반도체 제조 공정에 필요한 초정밀 모션 시스템인 리니어 스테이지를 제작합니다. 이 장비는 디스플레이 패널이나 반도체 웨이퍼와 같은 미세 부품을 정해진 위치로 정확하게 이동시키고 지지하는 역할을 합니다. 석정반을 비롯하여 코일, 마그넷, 엔코더, 스케일, LM 가이드 등 정밀 부품을 받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2024년부터 현장에서 운영 중인 제조 시설의 규모는 147.6㎡입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 디스플레이 제조장비 품목은 전국에 574곳, 경기 시흥시에 20곳 있습니다. 생산된 장비는 디스플레이 및 반도체 산업 현장에 공급됩니다. 주로 패널과 웨이퍼 생산 라인에서 부품을 정밀하게 이송하거나 고정하는 공정에 쓰입니다. 리니어 스테이지는 모터를 이용해 직선 운동을 구현하는 장비로, 반도체나 디스플레이 제조 시 정밀한 위치 제어를 위해 필수적입니다. 갠트리 스테이지는 대형 기판을 다루는 공정에서 위에서 아래로 잡아주는 형태의 구동 구조를 갖추고 있으며, 스택 타입 스테이지는 두 개 이상의 스테이지를 겹쳐 X축과 Y축 등 다방향 이동이 가능하도록 설계된 복합 구동 장치입니다. 정밀 스테이지 모션 시스템을 구현하기 위해 초정밀 가공 및 조립 기술을 활용합니다. 위치 정밀도는 300mm 당 ±10㎛ 수준이며, 양방향 반복 정밀도는 0.5㎛ 이하의 해상도 기준으로 ±1㎛까지 구현합니다. 최대 이송 속도는 2,000mm/s이며, 적재 하중은 200kgf까지 지원하는 설계를 적용합니다. 2015년 설립 이후 2017년 11세대 대형 스테이지를 개발하였으며, 연구소 설립과 공장 확장 이전을 통해 생산 능력을 갖추었습니다. 시화국가산업단지 내에 본사와 공장을 운영하며 모션 제어 시스템 개발을 지속하고 있습니다.