(주)아이넥스엠에이티

경기 화성시에 있는 아이넥스엠에이티는 반도체와 디스플레이 공정에 사용되는 세라믹 기반의 정밀 부품인 진공척을 전문으로 제작하는 기업입니다. 진공척은 진공압을 이용해 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판을 공정 장비 내에 단단하게 고정해 주는 핵심 부품입니다. 세라믹과 알루미늄 등을 주요 원자재로 사용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2023년부터 이 자리에서 공장을 운영하고 있으며, 제조 시설 면적은 2550.9㎡입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 화성시에 51곳 있습니다. 같은 품목을 만드는 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 듭니다. 주로 반도체 및 디스플레이 제조 산업에서 웨이퍼나 기판의 정밀한 이송과 공정을 돕는 장비 부품으로 쓰입니다. 포토척은 빛을 이용해 회로 패턴을 웨이퍼에 새기는 포토 리소그라피 공정에서 진공압으로 기판을 고정하는 장치입니다. 정전척은 정전기를 이용해 기판을 고정하며 반도체 식각 및 증착 공정에 주로 쓰이고, 세라믹 히터는 공정 중에 기판을 일정한 온도로 가열하는 역할을 합니다. 또한 가스 분배판이라 불리는 GDP는 챔버 내 가스를 균일하게 공급하여 박막 형성 등을 지원합니다. 세라믹 소재 설계부터 제작, 검증까지 원스톱 공정을 운영하며 고난도 형상과 극한 공차를 구현하는 정밀 가공 기술을 갖추고 있습니다. 소재로는 SiC, Al2O3, Si3N4, ZrO2, AlN 등 다양한 고기능성 세라믹을 다루며, 표면 저항을 조절하거나 DLC, Ti/TiN 코팅 등을 적용하여 사용 환경에 최적화된 물성을 제공합니다. 정밀 분석과 해석 기반의 설계를 통해 제품의 성능을 사전에 검증하는 과정을 거칩니다. 2016년 5월에 설립되었으며, 2023년 현재의 화성시 방교동 공장으로 기반을 확충했습니다. 고기능성 세라믹 가공을 위한 정밀 가공 설비와 함께 연마 서비스인 래핑 및 폴리싱 설비를 운영하고 있습니다.