(주)티에이치테크

경기 이천시에 위치한 티에이치테크는 반도체 제조 장비에 들어가는 핵심 부품을 만드는 기업입니다. 반도체 회로를 그리는 식각 장비 등에서 웨이퍼를 고정하거나 보호하는 정밀 부품을 생산합니다. CVD SiC와 같은 특수 소재를 원자재로 공급받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 만듭니다. 제조 시설은 1,937.9㎡ 규모이며, 2023년부터 현재의 공장 시설에서 운영을 이어오고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「반도체 장비부품」 품목은 전국에 673곳, 경기 이천시 8곳 있습니다. 반도체 제조 장비의 에칭 공정에 쓰이는 부품이라 반도체와 디스플레이 산업 현장에서 주로 활용됩니다. SiC 포커스 링은 반도체 에칭 공정 중 플라즈마 가스를 모아주거나 가이드하는 역할을 하며, 내구성이 강해 기존 실리콘 제품보다 수명이 1.5배에서 2배가량 깁니다. 더미 웨이퍼는 공정 테스트를 위해 사용하는 원판 형태의 부품이며, 보트와 튜브는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 지지하거나 보호하는 용도로 쓰입니다. SiC(탄화규소), 실리콘, 세라믹, 쿼츠, AlN 등 다양한 특수 소재를 가공하는 기술력을 보유하고 있습니다. 특히 CVD 공법으로 생산된 SiC 부품을 다루며, 소재 고유의 내열성, 내식성, 내마모성을 유지할 수 있도록 정밀하게 절삭하고 형태를 잡는 공정에 집중합니다. 3차원 측정기를 비롯한 정밀 검사 장비와 MCT 전용 설비를 갖추고 있습니다. 2011년 설립 이후 2015년 법인으로 전환하였고, 2016년 본사 확장 이전 및 2018년 제3공장 신축을 거쳤습니다. 2021년에는 서이천 IC 인근에 신공장을 완공하여 이전을 완료하였습니다.