(주)차고엔지니어링

온실가스 및 프레온 가스 감축 규제에 맞추어 헬륨을 냉매로 사용하는 친환경 극저온 냉각 시스템(Cryo Engine) 기술을 개발하여 가연성, 독성, 인체 유해성 우려를 해소했습니다.

반도체 제조 및 패키징 검사 장비(Prober, Handler, Mounter 등) 내부에 냉각 장치를 직접 일체형으로 내장(Built-in)하는 기술을 구현하여, 별도의 외장형 대형 칠러 설치 없이도 극저온(-200℃~-20℃) 신뢰성 시험을 수행할 수 있게 하였으며 클린룸 공간 활용도를 극대화했습니다.

2025년 생산 중단 예정인 유해 불소화합물(PFAS) 냉매를 대체할 수 있는 무불소 탄화수소계 Non-PFAS 친환경 냉매(GCL 시리즈)를 국산화하여 기존 불소계 냉매(FC-3283 등) 동등 이상의 냉각 성능과 친환경성을 입증했습니다.

히트파이프 대비 얇고 열전도율이 우수한 베이퍼 챔버(Vapor Chamber) 기반 열 확산 기술 및 인하우스 열교환기 기반의 고효율 공랭식 냉각 기술을 확보하고 있습니다.

• Cryo Engine: 헬륨 기반 반도체 검사용 초소형 극저온 냉각 시스템 (온도 범위 -200℃ ~ -20℃, 정밀도 ±0.1℃, 냉각용량 700W@-20℃, 350W@-50℃, 100W@-150℃)

• Liquid Chiller (Iron-3, Iron-7, Iron-10): 산업 공정 정밀 온도 제어용 액체 칠러 (온도 범위 -50℃ ~ +150℃, 온도 안정성 ±0.1℃)

• Heat Exchanger (Thor-2, Thor-3, Thor-5, Thor-8, Thor-10, Thor-25): 에너지 재활용 및 공정 열관리용 고효율 열교환기 (유량 최대 40 lpm)

• Air Chiller (Nos-1, Nos-2, Nos-3, Nos-4, Nos-5, Nos-6): 공기를 직접 냉매로 활용하는 유지보수 간소화 공랭식 칠러 (온도 범위 -50℃ ~ +150℃)

• Vapor Chamber: 냉매 순환형 SUS 판재 구조의 고성능 방열 장치 (열전도도 5,000~100,000 W/m·K, 최대 열유속 1,000 W/㎠, 두께 0.3mm)

• Non-PFAS Coolant (GCL-90, GCL-70, GCL-50, GCL-10): 무불소·친환경 반도체 공정 냉각용 합성 탄화수소계 냉매

• 기업부설연구소 인정서 (2021년 1월 설립)

• 벤처기업확인서

• 소재·부품·장비 전문기업 확인서

• 중소기업확인서

• CE 인증서 (3건)

• MSDS·식품 등급(Food Grade) 인증 (Non-PFAS Coolant)

• 중소벤처기업부 혁신형 R&D 프로젝트 선정 (2019)

• 중소벤처기업부 전략형 R&D 프로젝트 선정 (2020)

• 산업통상자원부 소재부품장비 R&D 프로젝트 선정 (2022)

• 초격차 스타트업 1000+ 프로젝트(Super Gap Startup 1000+) 선정 (2023)

• 한국기계연구원(KIMM) 패밀리기업 선정 (2024)

• 스케일업 팁스(Scale-Up Tips) R&D 프로젝트 선정 (2024)