충북 청주시에 있는 차고엔지니어링은 반도체 제조 공정에 필요한 냉각엔진을 생산하는 기업입니다. 이 장치는 반도체 설비 내부에서 극저온 상태를 유지하거나 정밀한 온도 조절이 가능하도록 돕는 온도 제어 솔루션입니다. 스테인리스강인 SUS304와 SUS316, 그리고 냉매로 사용하는 헬륨을 주요 재료로 사용하여 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 만듭니다. 제조 시설은 868.6㎡ 규모로 갖추고 있으며, 2024년부터 이 자리에서 공장을 운영하고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 내연기관·엔진 품목은 전국에 586곳, 충북 청주시에 6곳 있습니다. 반도체 공정 장비 내부에 탑재되는 핵심 부품이라 기계·산업장비 분야는 물론 자동차·모빌리티 및 조선·해양 산업의 냉각 시스템에도 적용됩니다. 주력 생산품은 친환경 냉매인 헬륨을 활용한 극저온 냉각장치인 헬륨 냉각 시스템입니다. 모델 Marble-1.0L은 영하 200도에서 영하 20도 사이의 온도 구간을 제어하며 250W에서 350W까지 냉각 용량을 제공합니다. Marble-1.0A는 분당 150리터에서 450리터까지 유량을 조절할 수 있으며, Marble-1.0C는 영하 150도 환경에서 150W의 냉각 성능을 발휘합니다. 모든 제품은 반도체 공정 장비에 빌트인 형태로 설치 가능하며, 사용자의 요구 사양에 맞춘 특주 개발을 지원합니다. 프레온 가스를 배제한 헬륨 기반의 극저온 냉각 기술을 핵심 공법으로 삼고 있습니다. 자체 연구개발 공간인 LAB을 운영하며 고효율·소형화 시스템을 설계하고 불소 성분이 없는 친환경 냉각 유체를 다룹니다. 설계부터 제작, 냉각 성능 평가 및 기술 결과 보고서 발행까지 전 과정을 수행하며 반도체 공정의 탄소 중립을 위한 기술을 연구합니다. 2019년 설립 이후 꾸준한 성장을 거쳐왔으며, 2022년 청주로 본사를 이전하고 연구소를 확장했습니다. 경기도 화성에 지사를 두고 있습니다. 보유 설비를 통해 크라이오 엔진 및 다양한 액체·공랭식 칠러를 양산하고 있으며, 2024년부터는 터보 브레이튼 기술 개발을 시작했습니다.
공장등록 공공데이터와 회사 홈페이지 글만을 바탕으로 AI가 작성한 소개입니다. 실제와 다를 수 있습니다.
차고엔지니어링(CHAGO ENGINEERING)은 환경적 지속가능성을 최우선 가치로 두고 반도체 및 산업용 친환경 냉각 시스템을 개발·공급하는 전문 기업입니다.
기후변화와 온실가스 규제에 대응하여 프레온 가스 대신 헬륨을 적용한 극저온 냉각 장치인 크라이오 엔진(Cryo Engine)과 친환경 Non-PFAS 냉매를 선도적으로 개발하여 상용화하고 있습니다.
2019년 설립 이후 기업부설연구소를 개설하고 초저온 칠러 국산화, 크라이오 엔진 양산, 터보 브레이튼(Turbo Brayton) 기술 개발을 추진해 왔으며, 충북 청주 본사와 경기 화성 지사를 중심으로 글로벌 반도체 및 전자 부품 시장에 혁신적인 냉각 솔루션을 제공하고 있습니다.
온실가스 및 프레온 가스 감축 규제에 맞추어 헬륨을 냉매로 사용하는 친환경 극저온 냉각 시스템(Cryo Engine) 기술을 개발하여 가연성, 독성, 인체 유해성 우려를 해소했습니다.
반도체 제조 및 패키징 검사 장비(Prober, Handler, Mounter 등) 내부에 냉각 장치를 직접 일체형으로 내장(Built-in)하는 기술을 구현하여, 별도의 외장형 대형 칠러 설치 없이도 극저온(-200℃~-20℃) 신뢰성 시험을 수행할 수 있게 하였으며 클린룸 공간 활용도를 극대화했습니다.
2025년 생산 중단 예정인 유해 불소화합물(PFAS) 냉매를 대체할 수 있는 무불소 탄화수소계 Non-PFAS 친환경 냉매(GCL 시리즈)를 국산화하여 기존 불소계 냉매(FC-3283 등) 동등 이상의 냉각 성능과 친환경성을 입증했습니다.
히트파이프 대비 얇고 열전도율이 우수한 베이퍼 챔버(Vapor Chamber) 기반 열 확산 기술 및 인하우스 열교환기 기반의 고효율 공랭식 냉각 기술을 확보하고 있습니다.
Cryo Engine: 헬륨 기반 반도체 검사용 초소형 극저온 냉각 시스템 (온도 범위 -200℃ ~ -20℃, 정밀도 ±0.1℃, 냉각용량 700W@-20℃, 350W@-50℃, 100W@-150℃)
Liquid Chiller (Iron-3, Iron-7, Iron-10): 산업 공정 정밀 온도 제어용 액체 칠러 (온도 범위 -50℃ ~ +150℃, 온도 안정성 ±0.1℃)
Heat Exchanger (Thor-2, Thor-3, Thor-5, Thor-8, Thor-10, Thor-25): 에너지 재활용 및 공정 열관리용 고효율 열교환기 (유량 최대 40 lpm)
Air Chiller (Nos-1, Nos-2, Nos-3, Nos-4, Nos-5, Nos-6): 공기를 직접 냉매로 활용하는 유지보수 간소화 공랭식 칠러 (온도 범위 -50℃ ~ +150℃)
Vapor Chamber: 냉매 순환형 SUS 판재 구조의 고성능 방열 장치 (열전도도 5,000~100,000 W/m·K, 최대 열유속 1,000 W/㎠, 두께 0.3mm)
Non-PFAS Coolant (GCL-90, GCL-70, GCL-50, GCL-10): 무불소·친환경 반도체 공정 냉각용 합성 탄화수소계 냉매
기업부설연구소 인정서 (2021년 1월 설립)
벤처기업확인서
소재·부품·장비 전문기업 확인서
중소기업확인서
CE 인증서 (3건)
MSDS·식품 등급(Food Grade) 인증 (Non-PFAS Coolant)
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