(주)에이치앤에이치

경기도 안성시에 있는 (주)에이치앤에이치는 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필요한 화학 약품 공급 장치를 만드는 기업입니다. 반도체 회로 형성 과정에서 필수적인 식각과 세정 공정에 쓰이는 약액을 안정적으로 공급하고 제어하는 시스템을 설계하고 제작합니다. 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 제작하며 2018년부터 현재의 안성 공장에서 운영해 왔습니다. 등록된 제조 시설의 면적은 291.6㎡입니다. 반도체 및 디스플레이 생산 라인의 핵심 설비에 적용되며 공정용 화학 약품을 안전하게 이송하고 공급하는 유틸리티 환경 구축에 사용됩니다. 중앙 화학 약품 공급 장치인 CCSS는 반도체 제조 공정에 필요한 산성, 알칼리성, 용제 등을 정량으로 공급하는 설비입니다. 화학 약품 재활용 시스템인 CRS는 공정에서 발생한 폐액을 정제하여 효율을 높이는 장치입니다. 퍼들 현상기는 유리 기판에 도포된 감광액을 현상하고 건조하는 장비이며 미니 현상기는 트레이를 통해 공급된 기판을 정밀하게 세척 및 건조하는 공정에 사용됩니다. 약액 이송을 위한 펌프 방식과 질소 압력 공급 방식을 적용하며 화학 물질의 혼합 및 희석 기술을 보유하고 있습니다. 탱크 로리 연결을 위한 자동 청소 퀵 커플러 시스템을 통해 약액 공급의 효율성을 높입니다. 장비 운영을 위해 PLC와 HMI 프로그램을 직접 구성하여 현장 제어 시스템을 구축합니다. 2016년 법인 설립 이후 수원 확장을 거쳐 2017년 안성으로 공장을 이전하였습니다. 안성 사업장 내에 280평 규모의 클린룸을 갖추고 있으며 기계 설비와 전기 제어 공사를 수행할 수 있는 설비를 보유하고 있습니다.