(주)엘에스이

경기 안성시에 있는 엘에스이는 반도체 제조 공정에 필요한 세정 기계장치를 전문적으로 제작하는 기업입니다. 여기서 만드는 세정장비는 반도체 웨이퍼 표면의 미세 오염물을 제거하여 회로 패턴의 정밀도를 유지하고 수율을 높이는 데 필수적인 역할을 합니다. 다양한 가공품과 기성 전자부품을 공급받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2022년부터 안성 지역에서 생산 활동을 이어오고 있으며 제조 시설 면적은 3976.6㎡에 달합니다. 같은 품목을 생산하는 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 10%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 안성시에 28곳 있습니다. 반도체 및 디스플레이 생산 공정의 핵심 단계인 세정 라인에 도입되어 제조 효율을 높이는 데 쓰입니다. NSM-series는 12개의 챔버를 갖춘 싱글 웨이퍼 프로세서로 20나노미터 이하 미세 공정에서 입자 제어와 처리량을 개선합니다. SI-series는 8개의 챔버를 탑재하여 30나노미터 이하 공정의 생산성을 높이는 싱글 웨이퍼 프로세서입니다. SC-series는 웨이퍼 스크러버 장비로 적층형 플랫폼 구조를 적용하여 20나노미터 이하 공정 환경에서 웨이퍼를 효과적으로 세정합니다. 챔버 구조와 웨이퍼 이송 모듈을 직접 설계하고 최적화하는 공법을 사용하여 장비를 제작합니다. 미세 공정 대응을 위해 반도체 웨이퍼를 낱개 단위로 처리하는 싱글 웨이퍼 프로세싱 기술을 기반으로 하며 공정 내 입자 발생을 최소화하는 고난도 설계 기술을 다룹니다. 2002년 부설연구소 설립을 시작으로 2006년에는 300mm 싱글 챔버 국산화 업체로 선정되었습니다. 2011년 중국 법인을 설립하였으며 2018년 안성사업장, 2016년 안성2사업장을 각각 마련하여 운영 중입니다.