(주)에스에이치앰

인천 남동구에 위치한 에스에이치앰은 반도체 제조 공정 중 회로를 깎아내는 드라이 에칭(Dry Etching) 장비에 필수적으로 들어가는 소모성 부품을 전문적으로 생산하는 기업입니다. 반도체 핵심 부품인 일렉트로드와 링을 전문적으로 조립 및 가공하며, 2018년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 제조시설 면적은 1492.0㎡ 규모이며, 건축면적은 2416.1㎡에 달합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「일반 반도체」 품목은 전국에 344곳, 인천 남동구에 9곳 있습니다. 반도체 제조 장비의 챔버 내부에서 가스를 고르게 분사하거나 플라즈마 밀도를 균일하게 유지하는 역할을 수행하므로 반도체 및 전자·IT기기 산업 공정의 핵심 자리에 쓰입니다. 일렉트로드(Electrode)는 드라이 에칭 장비의 챔버 전극부에 장착되어 마이크로 홀을 통해 식각용 가스를 웨이퍼 표면에 균일하게 분사하는 핵심 부품입니다. 실리콘 포커스 링(Si Focus Ring)은 챔버 내부의 웨이퍼 가장자리에 배치되어 플라즈마 밀도를 일정하게 형성함으로써 공정의 정밀도를 유지하는 역할을 합니다. 인서트 링(Insert Ring), 핫 에지 링(Hot Edge Ring), 쿨 에지 링(Cool Edge Ring), 보호용 링(Protection Ring) 등을 포함하여 공정 상황에 맞는 다양한 제품을 공급합니다. 실리콘 소재 가공에 특화된 기술력을 바탕으로 레이저 가공 기술을 접목하여 미세 홀을 정밀하게 타공하는 공법을 활용합니다. 폴리싱 장비와 자동 세정 설비를 운영하며 제품 표면을 가공하고 형상을 정밀하게 측정하는 단계를 직접 수행합니다. 제품의 성능을 유지하기 위해 지속적인 생산 라인 증설과 공정 최적화를 진행하며 실리콘 가공부터 최종 조립 단계까지의 기술을 확보하고 있습니다. 3차원 접촉식 및 비접촉식 형상 측정기를 비롯하여 폴리싱 설비와 자동 세정 라인을 갖추고 있으며, 지속적인 생산 설비 증설로 생산 능력을 확대해 왔습니다. 2015년 법인 설립 이후 Si 가공 업체로 시작하여 다수의 생산 라인을 확충하였고, 대구경 Si Ring 개발 등 제품군을 다변화하며 성장했습니다.