반도체 제조 장비에 들어가는 세라믹 부품을 만드는 (주)보부하이테크는 강원 강릉시에 공장을 두고 있습니다. 이 부품은 웨이퍼를 고정하거나 가열하는 데 쓰이는 핵심 소재로, 정밀한 온도 조절과 내열성이 요구되는 공정에서 사용됩니다.
알루미늄과 세라믹 분말을 원료로 받아 성형 및 소성 공정을 거쳐 부품을 완성합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 1501.8㎡입니다.
반도체 전공정과 후공정 장비에 들어가는 부품이라 반도체 산업 전반에 걸쳐 쓰입니다.
메탈 히터는 중저온 막질 처리 시 빠른 가열과 정밀한 온도 조절을 위해 쓰입니다. 세라믹 히터는 고온 공정에서 열전도성과 내열성을 발휘하며, 정전척은 정전기력으로 웨이퍼를 고정하고 공정 온도를 제어하는 데 사용됩니다.
단일 구간과 이중 구간 가열 기술을 적용해 온도 제어 범위를 넓혔습니다. 알루미늄 질화물과 알루미나 재질을 다루며, 전극판과 히터의 결합 및 분리 공정을 직접 수행합니다. 다양한 표면 처리와 코팅 공법을 통해 부품의 내식성과 내구성을 확보합니다.
1994년에 설립되어 30년 이상의 생산 경험을 보유하고 있습니다. 본사는 경기도 용인시에 있으며, 중국 무시에 지사를 두고 있습니다. 제조 시설은 경기도 광주시와 강원도 강릉시에 각각 위치하고 있습니다.