(주)템네스트

경기도 화성시에 위치한 템네스트는 반도체 제조 공정의 핵심 부품인 정전척(ESC, Electro-static Chuck)을 개발하고 생산하는 기업입니다. 정전척은 반도체 웨이퍼를 가공하는 챔버 내부에서 웨이퍼를 정전기 힘으로 안전하게 흡착하고 위치를 고정하는 장비입니다. 템네스트는 반도체용 정전척의 설계부터 정밀 가공, 조립, 성능 테스트에 이르는 전 과정을 사내에서 직접 수행합니다. 2012년부터 현재의 사업장에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설 면적은 2072.7㎡ 규모를 갖추고 있습니다. 반도체 제조 장비 산업에 쓰이는 부품으로, 웨이퍼를 안정적으로 유지해야 하는 전 세계 반도체 팹(Fab)의 식각 및 증착 공정 설비 내부에 장착됩니다. 주력 제품인 정전척은 반도체 웨이퍼를 챔버 내에서 강력한 정전기력으로 잡아주는 부품입니다. 극저온 환경에서 동작하는 정전척용 프레임은 멀티 복합 재료를 사용하여 열팽창을 최소화합니다. 또한 반도체 장비의 성능을 유지하거나 연장하기 위한 정전척 리퍼비시(Refurbishment) 서비스와 MCA 히터 수리 서비스도 제공합니다. 세라믹 유전체 층을 고밀도로 직접 코팅하는 기술을 보유하고 있으며 절연 층의 절연 파괴 전압을 높여 내구성을 확보합니다. 99.99% 순도의 알루미나 세라믹 플레이트를 사용한 소결 세라믹 플레이트 정전척을 개발하였으며 정전기 흡착력을 높이는 내장형 전극 설계 기술과 다양한 온도 범위에서도 안정적인 열전도율을 유지하는 접착 기술을 적용하고 있습니다. 설계부터 성능 검사까지 전 공정을 처리할 수 있는 설비를 갖추고 있습니다. 2000년 7월 설립되었으며 2001년 세라믹 정전척을 챔버에 적용한 이후 2008년 연구소 개소, 2011년 신규 제조 시설 마련, 2013년 MA 코팅 적용 등의 과정을 거쳐 성장해 왔습니다. 2022년에는 소결 세라믹 플레이트 정전척을 개발하였습니다.