(주)파웰코퍼레이션

경기도 수원시에 있는 (주)파웰코퍼레이션은 반도체 제조 공정에 필요한 정밀 부품과 장비를 생산합니다. 정전척(ESC)을 비롯한 다양한 반도체 소자와 모듈, 제조 장비용 부품을 전문적으로 다룹니다. 알루미늄 플레이트와 같은 소재를 공급받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 완성합니다. 2023년부터 수원델타플렉스일반산업단지 내 지식산업센터에서 제조시설을 운영하고 있으며, 제조시설면적은 234.9㎡입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 수원시에 7곳 있습니다. 반도체 제조 공정뿐만 아니라 디스플레이와 2차전지 산업 전반에 걸쳐 장비의 핵심 부품으로 공급됩니다. 정전척(ESC)은 반도체 웨이퍼를 정전기 힘으로 잡아 고정하는 장비이며, 포러스 척(Porous Chuck)은 미세한 구멍이 있는 판을 통해 웨이퍼를 흡착합니다. 에어베어링롤(ABR)은 배터리 제조 공정에서 소재의 긁힘을 방지하며 기재를 이송하는 부품이고, 실버 코팅 구리(SCC)는 전력 반도체의 열 방출과 전도성을 돕는 소재입니다. 반도체 및 전력 반도체용 핵심 장치를 생산하기 위해 세라믹 히터 제조 기술과 SiC 가공 공법을 활용합니다. 초고순도 연결 솔루션인 피팅 기술과 차세대 브레이징 기술을 보유하고 있으며, 설계부터 제품화까지의 일련의 공정을 직접 수행하여 정밀도를 높입니다. 1999년 설립 이후 ESC 및 로봇 자동화 시스템 사업을 개시하였으며, 이후 진공 부품, 세라믹 히터, 전력 반도체 소재 등으로 영역을 확장했습니다. 글라스 표면 검사장비 개발과 PDS 관련 기술 개발을 지속하고 있습니다.