(주)엘케이엔지니어링

경기 화성시에 위치한 엘케이엔지니어링은 정전척을 전문으로 생산하는 기업입니다. 정전척은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼를 정전기 힘을 이용하여 평평하게 고정하는 장비 부품으로 반도체 생산 설비에서 핵심적인 역할을 합니다. 세라믹 플레이트를 주요 원자재로 사용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2019년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조시설 면적은 3560.8㎡에 이릅니다. 전체 반도체 장비 부품 공장 321곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 10%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 장비부품 품목은 전국에 673곳, 경기 오산시에 19곳 있습니다. 반도체 제조와 디스플레이 공정 전반에 사용되며, 특히 웨이퍼를 안정적으로 잡아주는 장비의 핵심 위치에 적용됩니다. 정전척은 반도체 제조 장비 내부에서 웨이퍼를 고정하는 핵심 부품입니다. 엘케이엔지니어링은 정전척의 설계부터 신규 제작, 사용된 제품의 수리 기술까지 폭넓게 다룹니다. 또한 정전척 성능 검사를 위한 시험 장비도 자체적으로 개발하여 공급합니다. 세라믹 재질을 다루는 고도의 가공 능력을 보유하고 있으며, 특히 열간 등압 가공법을 통해 밀도를 높인 세라믹 판을 제조합니다. 제품군에 따라 기공의 크기를 2~15㎛ 범위로 제어하며, 비커스 경도 1,400~2,000HV 수준의 내마모성을 갖춘 세라믹을 가공합니다. 재료의 열팽창 계수와 열전도율을 정밀하게 관리하여 고온 환경에서의 안정성을 확보합니다. 화성 동탄 일반산업단지에 M1 제조 시설을 갖추고 있으며, 오산 가장 제3산업단지에 L3 시설을 구축하여 운영 중입니다. 또한 세라믹 연구를 위한 R&D 센터인 L2 건물을 보유하고 있습니다.