(주)이노맥스

경기 화성시에 위치한 (주)이노맥스는 반도체 제조 공정에서 사용하는 웨이퍼 세정 장비를 만드는 기업입니다. 세정 장비는 반도체 원판인 웨이퍼 표면의 이물질을 제거하여 불량을 방지하는 공정 필수 설비입니다. 에어 밸브와 공압 자재를 주요 원자재로 사용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2023년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설 면적은 1656㎡ 규모입니다. 같은 품목 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 듭니다. 진공·챔버·세정 품목을 만드는 공장은 전국에 313곳, 경기 화성시에는 51곳 있습니다. 생산된 장비는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 투입되어 미세 회로를 형성하는 웨이퍼의 순도를 유지하는 핵심 역할을 수행합니다. 웨이퍼를 세정하는 웻 스테이션(Wet Station)과 스핀 프로세서(Spin Processor)를 비롯하여, 아스트로(ASTRO)와 트라움(TRAUM) 등 다양한 사양의 세정 장비를 제작합니다. 금속과 수지 재질을 다루는 정밀 가공 기술과 자동화 조립 공법을 적용하여 반도체 생산 라인에 최적화된 규격의 장비를 공급합니다. 정밀 가공 설비와 공압 제어 시스템 조립 라인을 갖추고 있으며 2023년에 화성 공장을 등록하여 운영을 시작하였습니다.