대동하이텍

경기 김포시에 자리한 대동하이텍은 반도체와 디스플레이, 태양전지 제조 공정에 쓰이는 진공 기반 장비를 만드는 기업입니다. 기판 위에 박막을 입히거나 물질을 깎아내는 등 정밀한 공정이 필요한 반도체 제조 현장에서 장비의 핵심적인 역할을 수행하고 있습니다. 이 회사는 반도체와 같은 핵심 원자재를 활용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 각종 증착기와 식각 장비를 제작합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설은 277.6㎡ 규모를 갖추고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「반도체 제조장비」 품목은 전국에 2,091곳, 경기 김포시에는 20곳 있습니다. 이 장비들은 반도체 산업은 물론 차세대 태양전지 제조 라인이나 LED 칩 양산 공정에 투입되어 박막 증착과 회로 식각 등의 공정을 담당합니다. 증착기(Evaporator)는 진공 상태에서 금속이나 유기물을 기판에 얇게 입히는 장비로, 열 증착부터 전자빔을 이용한 방식까지 다양합니다. 스퍼터링 시스템(Sputtering System)은 진공 플라즈마를 이용하여 물질을 표면에 증착시키는 장치이며, 건식 식각기(Dry Etcher)는 기판의 불필요한 부분을 화학적·물리적 반응으로 깎아내는 공정에 쓰입니다. 또한 급속 열처리 장비(RTP)는 짧은 시간에 기판을 가열하여 결정화나 활성화를 돕는 데 사용합니다. 진공 환경 제어와 박막 증착 공법을 중심으로 장비를 설계하고 제작합니다. 전자빔을 활용한 결정화 기술과 유도가열을 통한 초고속 증착 기술을 다루며, PLC 기반의 터치스크린이나 PC 모니터를 통한 반자동 및 전자동 제어 시스템을 구축합니다. 이 외에도 시료 이송을 위한 로봇 팔이나 정밀 위치 제어 스테이지, 박막 균일도를 높이는 기판 가열 시스템 등 진공 호환 부품까지 직접 설계 및 가공할 수 있는 기술력을 갖추고 있습니다. 진공 증착 및 식각 시스템 제작을 위한 가공 설비를 보유하고 있습니다. 2007년에 창립하여 2011년 현재의 김포 공장으로 등록하였으며, 이후 각종 LED 양산용 스퍼터 장비와 전자빔 결정화 장비 등을 개발하며 장비 라인업을 확장해 왔습니다.