(주)에이플어스

경기 수원시에 자리한 (주)에이플어스는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 핵심 부품인 샤워헤드와 HeMoS를 생산합니다. 샤워헤드는 반도체 장비 내부에서 가스를 균일하게 분사해 공정의 정밀도를 조절하는 부품이며 HeMoS는 공정 중 발생하는 이상 징후를 실시간으로 살피는 모니터링 시스템입니다. 알루미늄 소재를 주재료로 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 제작합니다. 2018년부터 수원델타플렉스일반산업단지 내 408.7㎡ 규모의 제조 시설에서 공장을 운영하고 있으며 건축면적은 587.8㎡에 달합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 장비부품 품목은 전국에 673곳, 경기 수원시에 20곳 있습니다. 생산된 부품은 반도체 및 디스플레이 생산 라인의 식각이나 증착 공정 장비에 투입되어 공정 효율과 제품 균일도를 높이는 역할을 합니다. 샤워헤드는 반응 챔버 내에서 공정 가스를 넓게 퍼뜨려 웨이퍼 표면에 물질이 고르게 입혀지도록 돕는 장치입니다. 플라즈마 표면 처리 시스템인 PSM은 챔버 내부의 상태를 제어하여 반도체 미세 패턴 형성을 지원하며, 인시튜 모니터링 시스템은 공정 진행 상황을 실시간으로 확인해 불량 발생을 예방합니다. 반도체 장비에 최적화된 알루미늄 및 니켈 계열 금속 소재를 다루며 플라즈마 기술을 활용한 장비 개발과 핵심 부품 가공을 직접 수행합니다. 200mm 및 300mm 웨이퍼 규격의 박막 증착 공정 장비 설계와 고온 공정 대응 기술을 보유하고 있으며, 금속 소재의 내식성과 전기 전도성을 높이는 구조물 설계에 집중합니다. 2011년 설립되어 2013년 기업부설연구소를 등록하고 2015년 법인으로 전환했습니다. 2017년부터 2019년 사이에는 두께 모니터링 시스템과 저온용 CVD 챔버를 개발하는 등 연구 범위를 넓혀왔으며, 공정용 히터와 챔버 내부 부품을 양산할 수 있는 설비를 갖추고 있습니다.