(주)제니어스

경기 수원시에 위치한 제니어스는 반도체 제조 공정에 필수적으로 사용되는 각종 진공 밸브와 압력 제어 장치를 제작합니다. 반도체 웨이퍼를 생산하는 복잡한 기계 내부의 기압을 일정하게 유지하고 흐름을 제어하는 핵심 부품을 만드는 기업입니다. 반도체 장비 부품을 공급받아 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2007년부터 수원시 디지털엠파이어에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설은 356.2㎡ 규모로 갖추어져 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 수원시에 62곳 있습니다. 생산된 진공 밸브와 컨트롤러는 반도체 제조 산업의 핵심 설비에 탑재되어, 웨이퍼 이송 및 증착 공정의 진공 환경을 정밀하게 조성하는 역할을 합니다. 주력 제품인 진공 밸브는 반도체 장비 내부의 진공 상태를 차단하거나 연결하는 장치이며, 압력 제어기는 공정 중 내부 압력을 일정하게 조절합니다. 그 외에 웨이퍼를 이동시키는 마그네틱 트랜스포터, 저진공 상태를 측정하고 관리하는 진공 게이지 컨트롤러 등을 전문적으로 생산합니다. 반도체 장비 부품의 정밀 가공 기술을 바탕으로 밸브 및 컨트롤러 조립 공정을 직접 수행합니다. 다양한 형태의 버터플라이 밸브, 펜듈럼 방식의 밸브, 고온 환경 대응 히팅 스로틀 밸브 등을 설계하고 제작할 수 있는 기술력을 갖추고 있습니다. 2003년 제니어스 테크놀로지로 창업하여 관련 기술을 개발해 왔으며, 2023년에는 공정 정밀도를 유지하기 위한 클린룸 설치를 완료하였습니다. 생산을 위한 정밀 조립 및 가공 설비들을 보유하여 제품의 신뢰성을 확보하고 있습니다.