(주)씨엔디플러스

경기 안산시에 있는 (주)씨엔디플러스는 반도체 제조 공정에 들어가는 각종 자동화 설비와 시스템을 전문적으로 제작합니다. 반도체 웨이퍼의 가공 및 세정, 이물질 제거 등에 필요한 기계 장치를 공급하여 반도체 생산 효율을 높이는 역할을 합니다. 금속과 PP, 아세탈 등의 원자재를 활용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2024년부터 안산시 팔곡일반산업단지의 공장에서 운영을 시작하였으며, 제조 시설 면적은 1541.3㎡입니다. 같은 품목을 생산하는 전국 659개 공장 가운데 제조 시설 넓이는 상위 25%에 해당합니다. 이 설비들은 반도체 제조 공정 전반에 활용되며, 특히 웨이퍼의 화학 공급이나 박막 처리 등 반도체 산업의 핵심 생산 라인에 설치되어 공정을 자동화하는 자리에 쓰입니다. 주요 제품으로는 화학물질을 정밀하게 공급하는 Built-In Chemical Supply System과 8인치 및 12인치 웨이퍼 자동 변환 기능을 갖춘 CIS System이 있습니다. 또한 UV 광원을 사용하는 EBR 장비인 OEBR System은 0.5~3.0mm 범위의 노광 폭을 처리하며 라운드 모드와 파티셜 모드를 지원합니다. 그 외에 약액 소비량을 최소화하고 금속을 회수할 수 있는 Metal Lift Off System을 공급합니다. 기계 설계와 구동 메커니즘 설계, 공정 모듈 설계 기술을 기반으로 하며 공정 요구 사양에 맞춘 제작이 가능합니다. 기계 설계 및 도면 설계를 위한 시스템을 갖추고 있습니다. 2020년부터 2021년까지 저산소 코팅 장비와 금속 리프트 오프 장비를 개발 및 공급하였으며, 2022년에는 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 양산 장비를 공급하는 등 기술 개발을 이어왔습니다.