(주)에스투엠코리아

에스투엠코리아는 경기도 안성시에 위치하여 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필요한 초정밀 부품을 생산합니다. 챔버 내부에서 식각이나 증착 과정을 수행할 때 웨이퍼를 지지하거나 공정 환경을 제어하는 핵심 소재 부품을 주로 만듭니다. 석영유리, 파이렉스, 파인세라믹과 같은 재료를 받아 정밀한 절삭과 가공 공정을 거쳐 부품을 완성합니다. 2005년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 1,597.2㎡ 규모의 제조 시설을 갖추고 있습니다. 같은 품목을 만드는 디스플레이 제조장비 공장 225곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 듭니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「디스플레이 제조장비」 품목은 전국에 574곳, 경기 안성시에 28곳 있습니다. 이 부품들은 반도체와 디스플레이 산업의 핵심인 식각 및 증착 장비에 직접 장착되어 미세한 공정 환경을 정밀하게 제어하는 역할을 합니다. 슬롯 링은 웨이퍼 위로 반응 가스가 균일하게 유입되도록 유도하여 전체적으로 고르게 식각되도록 돕습니다. 그라운드 커버 링은 챔버 내부의 정전척 주변에서 가스 흐름을 정밀하게 제어하며, 어퍼 라이너는 챔버 내부 벽면을 고온과 플라즈마로부터 보호하여 내부 온도를 일정하게 유지합니다. 이외에도 이송 로봇 암에 장착되어 웨이퍼를 안전하게 옮기는 세라믹 소재 부품과 챔버 내부를 외부에서 관측할 수 있게 하는 윈도우 튜브 등을 제작합니다. 석영유리와 파이렉스, 고순도 알루미나 세라믹 등 다양한 소재를 다루며 정밀 가공 및 조립 공법을 사용합니다. 챔버 내부의 플라즈마를 안정적으로 형성하거나 내열성을 유지해야 하는 부품의 특성에 맞춰 미세 슬롯 패턴 가공과 정밀 표면 처리 기술을 적용합니다. 2005년 안성 공장 등록 이후 공정 자동화와 가공 방법 개선을 지속해 왔으며, 300mm 웨이퍼 공정 대응 부품 등을 생산합니다. 경기 안성시 본사 공장에서 모든 제조 공정을 수행합니다.