경기 용인시에 자리한 플러스테크는 반도체 제조 공정에 필요한 각종 공급 장치를 전문으로 제작합니다. 이 장비들은 반도체와 LCD 생산 라인에서 화학 약품이나 연마액을 일정한 조건에 맞춰 공급하여 공정의 효율을 높이는 역할을 합니다. 원자재를 입고한 뒤 설계에 맞춰 정밀 가공하고 조립하는 과정을 거쳐 장비를 완성합니다. 제조 시설은 436㎡ 규모로 갖추고 있으며 2005년부터 현 위치에서 공장을 운영해 왔습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 용인시에 82곳 있습니다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 수율을 높이고 미세 회로를 구현하는 CMP 공정 등에 쓰이며, 반도체 및 LCD 산업 전반에 걸쳐 사용되는 정밀 공급 시스템으로 나갑니다. 슬러리 공급 장치는 CMP 공정에 필요한 연마액을 안정적으로 공급하는 자동화 설비입니다. 케미컬 공급 장치는 초고순도 공정용 화학 약품을 일정한 압력과 유량으로 분배하며, 케미컬 혼합 장치는 약품을 적절한 비율로 섞어 공정에 투입하는 시스템입니다. 오존수 생성 장치는 공정 세척 등에 필요한 오존수를 안정적으로 만들어 공급하는 역할을 합니다. 사용자 편의를 위해 사람이 기계와 소통하는 HMI 설계를 적용하며 유량과 압력을 실시간으로 제어하고 감시하는 기술을 갖추고 있습니다. 자동 세척 기능을 통해 배관 내부의 오염을 방지하며 공급되는 액체의 종류에 맞춰 최적화된 설계를 수행합니다. 또한 가압 방식과 펌프 방식을 자유롭게 구성할 수 있는 제작 공법을 보유하고 있습니다. 2005년 회사 설립 이후 PFA 압력 용기 개발, 오존수 및 고온 DI 공급 장치 개발 등 공정 시스템을 다변화해 왔습니다. 2013년 경기도 용인시로 사옥을 이전하였으며, 이후 순환식 오존수 시스템 등을 개발하여 공급하고 있습니다.
공장등록 공공데이터와 회사 홈페이지 글만을 바탕으로 AI가 작성한 소개입니다. 실제와 다를 수 있습니다.
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