(주)애플티

경기 용인시에 위치한 애플티는 반도체 제조 공정 중 회로 패턴 형성 단계에서 필수적으로 사용되는 포토 트랙(Photo-Track) 장비를 제작하고 개선하는 기업입니다. 반도체 제조 장비의 정밀 가공 및 조립 공정을 수행하고 있으며 제조시설 면적은 822.9㎡ 규모입니다. 2024년부터 현 위치에서 공장을 운영하고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 용인시 82곳 있습니다. 반도체 산업 전반에 쓰이며 웨이퍼 공정의 효율을 높이고 결함을 모니터링하는 핵심 설비로 활용됩니다. 주력 제품인 포토 트랙 장비는 웨이퍼의 감광액 도포 및 현상 공정을 담당하며 200mm와 150mm 웨이퍼 규격을 지원합니다. 이와 함께 생산 수율을 극대화하기 위한 애플티 결함 모니터링 시스템(ADMS)을 공급하고 있습니다. 또한 냉각 성능을 유지하는 LHP 쿨링 시스템, 공정 내 누출을 방지하는 누액 보호 시스템(Leak Protection System), 웨이퍼 이송을 위한 로더 시스템(Loader System), 장비의 메인 컨트롤러 백업 시스템 등을 제작하여 반도체 생산 환경의 가용성을 높입니다. 반도체 장비 개선을 위해 머신러닝 기반의 이미지 센서 분석 공법을 활용합니다. 이를 통해 공정 중 발생하는 스크래치, 파티클, 코팅 불량과 같은 매크로 결함을 실시간으로 감지하고 분석합니다. 또한 장비 구조 해석 역량을 바탕으로 노후 장비의 성능을 복원하는 리퍼비시(Refurbishment) 기술을 보유하고 있으며, 고객의 공정 요구에 맞춘 개조와 부품 국산화를 통해 장비 운영의 생산성을 최적화하는 연구개발을 수행합니다. 주요 설비로는 6개의 스피너와 16개의 플레이트, 전환 스테이지 등을 갖춘 포토 트랙 시스템 구성 장비를 운용하고 있습니다. 2004년 설립 이후 2014년 사명으로 등록하고 2016년 미국 댈러스 지사 설립, 2022년 신사옥 완공을 거쳐 2023년 결함 모니터링 시스템(ADMS) 개발을 완료하였습니다.