(주)플러스이엔지

경기도 용인시에 위치한 플러스이엔지는 반도체와 디스플레이 생산 과정에 필요한 핵심 공정 장비 및 관련 배관 설비를 전문적으로 제조하는 기업입니다. PVC, TP, TFA 등의 원자재를 공급받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 완성합니다. 2019년부터 해당 부지에서 공장을 운영하고 있으며, 제조 시설 면적은 1329.9㎡에 이릅니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 용인시 82곳 있습니다. 반도체 제조 공정 중 화학 물질을 정밀하게 공급하는 시스템에 쓰이는 장비로 반도체 산업 현장에 투입됩니다. 슬러리 공급 시스템은 연마제인 슬러리를 일정한 농도로 유지하여 반도체 웨이퍼 가공 공정에 안정적으로 공급하는 장치입니다. 케미컬 공급 시스템은 반도체 공정에 필요한 여러 종류의 화학 물질을 조건으로 배합하고 공급하는 장비입니다. 드럼 쉐이커는 슬러리 용액이 드럼 내부에서 침전되지 않도록 회전시켜 균일한 상태를 유지해 주는 설비입니다. 화학 물질 공급의 정밀도를 확보하기 위해 PLC 기반의 제어 기술을 사용하며 오므론 사의 컨트롤러를 채택하고 있습니다. HMI 터치스크린과 이더넷 및 RS 232-C 통신을 통해 실시간으로 시스템을 모니터링하고 제어합니다. 혼합 정밀도는 ±0.05% 수준을 유지하며, 원심분리 펌프를 활용하여 최대 60psi 압력으로 화학 액체를 공급하는 기술을 다룹니다. 주요 설비로는 PLC 제어기, 터치 패널, 원심분리 펌프 등이 있습니다. 1998년 법인을 설립하여 슬러리 시스템을 국산화했으며, 2004년 상호 변경과 함께 1공장을 준공했습니다. 2019년에는 2공장을 준공했고, 이후 2026년 평택 사업장 확장 이전 등 지속적인 생산 거점 확장을 진행해 왔습니다.