흑연을 가공해 만든 부품을 만드는 (주)요산이엔지는 경기 화성시에 자리 잡고 있습니다. 흑연은 고온에서도 강도가 유지되고 열충격에 강하며, 용융 금속이나 유리에 젖지 않는 특성이 있어 반도체나 특수 금속 가공 장비의 핵심 부품으로 쓰입니다. 이 회사는 이러한 흑연의 물리적 성질을 살려 다양한 산업용 부품을 생산합니다.
흑연을 원료로 받아 가공 공정을 거쳐 완성품을 만듭니다. 2001년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 792.0㎡입니다. 같은 품목 공장 3,168곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 듭니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 운반하거나 소자 성장을 돕는 부품으로, 반도체 산업의 생산 라인에 들어갑니다. 또한 귀금속을 녹이는 크루시블이나 사파이어 성장용 부품으로 특수 금속 및 광물 가공 분야에도 사용됩니다.
PECVD 그래파이트 웨이퍼 트레이는 반도체 웨이퍼를 일정하게 고정하고 운반하는 용도로 쓰입니다. 고순도 흑연 크루시블은 귀금속을 녹일 때 내부가 오염되지 않도록 보호하는 용기입니다. 사파이어 성장용 부품은 합성 사파이어를 키우는 과정에서 열을 전달하거나 구조를 지지하는 역할을 합니다. 진공 용로 부품은 진공 환경에서 작동하는 장비의 내부 구성 요소로, SiC 코팅 흑연은 MOCVD 공정에서 소스를 가열하는 서셉터로 사용됩니다.
흑연은 미세한 치수까지 정밀하게 가공할 수 있으며, 정제 처리를 통해 불순물을 제거해 오염을 최소화합니다. 열전도성과 전기전도성이 뛰어나고 열팽창 계수가 낮아 극한의 온도 변화에서도 치수 안정성을 유지합니다. 용융 금속과 유리에 젖지 않는 성질을 활용해 고온 환경에서도 변형이 적은 부품을 제작합니다.