반도체 웨이퍼 표면에 박막을 형성할 때 투입되는 전구체와 산업용 가스를 만듭니다. 울산 울주군에 본사를 둔 (주)디엔에프는 반도체 회로 미세화에 쓰이는 초고순도 카본하이드라이드를 생산하며, 이는 증착 공정의 핵심 소재로 작용합니다.
카본하이드라이드를 원료로 받아 정제 및 가공 공정을 거쳐 반도체 및 플랜트용 가스로 완성합니다. 2007년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 1,905㎡입니다.
반도체 제조 라인에서 박막 증착 공정에 쓰이고, 플랜트 인프라 구축과 의료 헬스케어 분야의 특수 가스 공급처로 나갑니다.
CVD 및 ALD 공정에 쓰이는 전구체를 주력으로 합니다. 전구체는 반도체 표면 위에 박막을 만들기 위해 기체화하여 반응가스와 함께 증착시키는 물질입니다. 또한 ACL 소재 생산을 위한 초고순도 카본하이드라이드 가스를 공급하며, 이는 반도체 소자 내 핵심 소재로 사용됩니다.
반도체 회로 형성용 CVD와 ALD 전구체를 개발하고 있습니다. 전구체를 기체화하여 반응가스와 함께 증착시켜 박막을 형성하는 공법을 다루며, 박막의 두께 조절이 용이한 ALD 공정 소재도 포함됩니다.
2001년 설립 후 2005년 사명을 (주)디엔에프로 변경했습니다. 2007년 울산 지점에 프로필렌 제조용 플랜트를 개점했으며, 2008년 대전 1캠퍼스, 2018년 대전 2캠퍼스를 개점했습니다. 현재 대전과 울산, 화성에 사업장을 두고 있습니다.