반도체 표준물질은 원자현미경이나 전자현미경 같은 첨단 측정 장비의 배율을 교정하고 핵심 성능을 평가하는 데 쓰이는 매개체입니다. 대전 대덕구에 위치한 (주)킴스레퍼런스는 이러한 표준물질을 제조하여 산업 현장의 측정 신뢰성을 확보하는 일을 합니다.
실리콘 웨이퍼를 원자재로 받아 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 표준물질을 완성합니다. 2025년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 421.7㎡입니다.
반도체 및 디스플레이 등 첨단 산업과 측정장비 업체에 필요한 표준물질을 공급하며, 고품질 제품의 품질관리 및 보증 능력을 뒷받침하는 역할을 합니다.
측정 단위 교정용 표준물질은 SEM과 AFM의 고배율 단위 및 임계 치수를 교정하는 데 쓰입니다. 단차 교정용 표준물질은 AFM으로 나노 단차를 측정할 때 활용되며, 표면분석용 표준물질은 나노 산화막 두께나 다층 박막의 깊이분포도를 TEM, XPS 등으로 분석할 때 기준이 됩니다.
국제표준화 연구와 국내외 공동분석 연구를 통해 표준화 기술을 축적하여 시의성 있는 표준물질을 생산합니다. 나노 구조체 표준물질 생산의 모든 측면에서 품질을 보증하고 유지하며, 측정불확도 표현 지침과 표준물질 특성화에 관한 가이던스를 준수합니다.
2021년 5월 2일 대표이사 김경중이 품질방침 및 공평성 선언을 발표했습니다. 현재 6종의 나노 구조체 표준물질을 보급하고 있으며, 대전광역시 대덕구 대화로 120 가온비즈타워 12층에 본사를 두고 있습니다.