반도체와 디스플레이 패널을 만들 때 얇은 막을 증착하거나 열처리를 하는 공정에 쓰이는 장비를 제작합니다. 대전 대덕구에 위치한 영하이테크는 스퍼터, 이빔, 에셔, 퍼니스 등 연구개발용 진공 증착 장비를 다루며, 반도체 제조 라인에서 핵심적인 역할을 하는 설비를 공급합니다.
STS304 스테인리스강과 AL6061 알루미늄 소재를 받아 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2021년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 면적은 87.4㎡ 규모입니다.
반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판 위에 박막을 형성하는 증착 공정에 적용되어, 반도체 산업의 제조 라인에서 핵심적인 역할을 수행합니다.
스퍼터링 시스템은 플라즈마를 이용해 금속이나 산화물 타겟에서 원자를 방출하여 기판에 증착하는 장비입니다. 이빔 시스템은 전자빔을 가열원으로 사용하여 고순도 금속을 증발시켜 박막을 형성하는 데 쓰입니다. 에셔 시스템은 기판 표면에 남은 불순물이나 잔여물을 플라즈마로 제거하는 공정 장비를 의미하며, 퍼니스는 고온에서 열처리나 소결을 수행하는 챔버형 장비입니다.
STS304와 AL6061 재료를 정밀가공하여 진공 챔버와 부품을 제작하고, 이를 조립하여 시스템으로 완성합니다. 4인치 DC 스퍼터링 시스템, ICP 시스템, CVD 장비, 리프트오프 이빔 장비, 800℃ 히터 챔버, CNT 퍼니스 등 다양한 R&D용 장비를 제작 및 개조합니다. 또한 스퍼터링 타겟, 메탈 마스크, 진공 펌프, 질량유량제어기 등 관련 부품도 함께 취급합니다.
대전광역시 대덕구 대화로106번길 66 펜타플렉스 호에 본사를 두고 있습니다. 2021년 공장 등록 이후 R&D 장비 제작 및 개조, 진공 부품 가공 등 사업을 영위하고 있습니다.