반도체 웨이퍼나 유리기판 위에 회로 패턴을 새길 때 쓰는 정밀 노광 장비를 만듭니다. 대전 대덕구에 있는 프로윈은 디스플레이 패널과 반도체 회로용 리소그래피 전후 공정에 필요한 장비를 제작하는 업체입니다.
정밀가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2017년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 120.0㎡입니다.
반도체 및 디스플레이 제조 라인에서 웨이퍼나 유리기판에 미세 패턴을 형성하는 노광 공정에 쓰입니다.
Mask Aligner는 감광액이 도포된 웨이퍼나 유리기판 위에 포토 마스크를 올려 UV를 조사해 미세 패턴을 얻는 장비입니다. 터치스크린 패널, 평판 디스플레이, MEMS, LED 등의 정밀 정렬 및 패터닝에 응용됩니다. Spin Coater System은 기판 표면에 감광액을 균일하게 도포하는 데 사용됩니다. Wet Station System은 노광 전후 세정 및 현상 공정을 수행하는 장비입니다.
Mask Aligner는 마스크 크기 5인치×5인치부터 500mm×500mm 이상, 기판 크기 4인치부터 12인치까지 대응합니다. 해상도와 정렬 정확도는 1㎛ 수준이며, UV 파장은 350~450nm 범위에서 조절됩니다. 램프 출력은 350W부터 5000W까지 모델에 따라 다르며, 접촉 방식은 진공, 하드, 소프트, 근접 모드 중 선택 가능합니다. PLC 제어, 터치 PC, 조이스틱 등 다양한 제어 방식을 지원합니다.
대전광역시 대덕구 산업단지로 116번길 84에 위치하고 있습니다.