반도체 웨이퍼 표면에 박막을 형성할 때 투입되는 전구체, 즉 폴리실라잔을 만듭니다. 이 물질은 반도체 회로 증착 공정의 핵심 소재로, 전기적 특성과 화학적 안정성이 중요한 역할을 합니다. 대전 대덕구에 위치한 (주)디엔에프는 이러한 전자재료를 전문적으로 개발하고 생산하는 기업입니다.
디뷰틸에테르와 암모니아를 원료로 사용하여 화학 반응을 통해 폴리실라잔을 합성합니다. 2008년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설의 넓이는 14,123.7㎡ 규모입니다.
반도체 소자의 미세화 공정에 필수적인 박막 형성 단계에 투입되는 소재입니다. CVD와 ALD 장비에서 반응 가스와 함께 사용되어 웨이퍼 위에 균일한 막을 만들어 줍니다.
주력 제품은 CVD와 ALD 공정에 쓰이는 전구체입니다. CVD 전구체는 반응물과 동시에 공급되어 박막을 빠르게 형성하는 데 쓰입니다. ALD 전구체는 반응물과 각각 공급되어 한 층씩 박막을 쌓아 올릴 때 사용되며, 두께 조절이 용이한 것이 특징입니다. 또한 Etch Hard Mask Film이나 DPT Material 등 웨이퍼 패터닝 공정에 쓰이는 소재도 함께 공급합니다.
반도체 회로 형성용 CVD 및 ALD Precursor를 개발하는 것이 핵심 기술입니다. 전구체를 기체화하여 반응 가스와 함께 증착시키는 방식을 다루며, 박막의 균일성과 전기적 특성을 확보하기 위해 화학적 안정성을 중시합니다. 원소별 제품 분류에 따라 다양한 소재를 연구하고 있습니다.
대전 1캠퍼스에는 본사와 연구소, 화학 공장이 있으며, 대전 2캠퍼스에는 연구소와 화학 공장이 있습니다. 울산 캠퍼스에는 Specialty Gas Plant가 있어 ACL 소재를 생산합니다. 2001년 (주)디엔에프솔루션으로 설립된 뒤 2005년 사명을 (주)디엔에프로 변경했습니다. 2008년 대전 1캠퍼스를 개점했고, 2018년에는 대전 2캠퍼스를 개점했습니다.