반도체 웨이퍼와 디스플레이 패널을 만드는 과정에서 불순물을 제거하거나 고온 처리를 하는 장비를 제작합니다. 대전 대덕구에 위치한 (주)중앙마이크로닉스는 정밀한 세정과 소성 공정이 필요한 전자 부품 생산 라인에 쓰이는 핵심 설비를 공급하는 기업입니다.
정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 완성하며, 2000년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 제조 시설의 넓이는 494.0㎡ 규모입니다.
반도체와 디스플레이 제조 라인에서 웨이퍼나 패널의 표면 처리 및 열처리 단계에 투입되는 장비입니다.
홈페이지에 따르면 반도체 분야에서는 확산로와 Suspend Mask, Band Saw 및 Ingot Grinder를 취급합니다. 확산로는 웨이퍼에 불순물을 주입하는 공정용이고, Band Saw는 잉곳을 절단하는 기계입니다. 디스플레이 분야에서는 Czochralski 방식 grower와 Sapphire ingot 가공장치를 만들며, 이는 사파이어 잉곳을 성장시키고 가공하는 설비입니다. 또한 FPD용 세정장치와 Ion Implanter, ALD 장비도 생산하며, 각각 패널 세정과 이온 주입, 원자층 증착 공정에 쓰입니다.
정밀 가공과 조립 기술을 바탕으로 장비를 제작합니다. 반도체와 디스플레이 공정에 필요한 다양한 열처리 및 세정 시스템을 직접 설계하고 조립하는 과정을 거칩니다.