반도체와 디스플레이 칩을 만들 때 미세한 회로 패턴을 새기거나 부품을 붙이는 공정장비를 만드는 (주)리소텍은 대전 유성구에 자리 잡고 있습니다. 이 장비는 웨이퍼 위에 정밀한 회로를 형성하거나 셀을 합착하는 데 쓰이는 기계로, 정밀한 정렬과 노광이 핵심인 공정에서 사용됩니다.
정밀가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 제작하며, 2013년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 제조 시설 넓이는 204.3㎡입니다.
반도체와 디스플레이 제조 라인에서 웨이퍼나 패널 위에 미세 패턴을 형성하는 포토공정 단계에 들어가는 장비입니다.
마스크얼라이너는 웨이퍼 위에 자외선을 조사하여 미세 회로 패턴을 형성하는 노광 장비입니다. 본더, 즉 셀합착기는 반도체 칩과 기판을 전기적으로 연결하는 접합 공정에 쓰입니다. 스프레이코터는 웨이퍼 표면에 포토레지스트를 균일하게 도포하는 데 사용되며, 스피너코터는 회전력을 이용해 막 두께를 일정하게 만드는 장비입니다.
포토공정 장비를 전문으로 제조하며, 250~350nm 및 350~450nm 파장의 자외선 평행광원을 사용합니다. 4축 정밀 스테이지와 고해상도 현미경, CCD 카메라를 적용하여 정밀한 정렬과 레벨링을 수행합니다. 4~13인치 마스크를 처리할 수 있으며, 소프트, 진공 컨택트, 하드 컨택트, 프록시미티 등 다양한 노광 모드를 지원합니다.
대전시 유성구 테크노2로 187 미건테크노월드 2차 C동 237호에 위치하고 있습니다.