반도체와 디스플레이 제조 라인에서 온도와 습도를 정밀하게 유지하는 항온항습제어장치를 만듭니다. 이 장치는 미세한 환경 변화에도 민감한 공정에서 안정적인 생산 환경을 조성하는 데 쓰이는 핵심 설비입니다. 대전 유성구에 본사를 둔 워트주식회사는 이러한 정밀 환경 제어 장비를 전문으로 개발하고 생산하고 있습니다.
원자재를 정밀가공하여 부품으로 만든 뒤 조립 공정을 거쳐 완성품을 생산합니다. 2008년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 현재 제조 시설 면적은 960.0㎡입니다. 정밀한 가공과 조립을 통해 제품의 신뢰성을 확보하는 생산 체계를 갖추고 있습니다.
반도체와 디스플레이 산업의 제조 라인에 적용됩니다. 특히 반도체 포토 트랙 설비나 디스플레이 패널 제조 공정에서 미세한 온도 및 습도 변동을 차단하여 제품 수율을 높이는 데 기여합니다.
주력 제품인 THC는 에너지 절감 기술을 적용하여 초정밀 온습도 및 항온수를 공급하는 장치입니다. 반도체 포토 트랙 설비에 주로 사용됩니다. TCU는 잉크젯 설비에 고압의 항온에어를 공급하는 장비로, 최적화 설계를 통해 안정적인 제어가 가능합니다. STOCKER FFU는 반도체 라인에서 레티클과 팟 스토커의 온도를 초정밀하게 제어하며, HEATLESS TEMPERATURE CONTROL 방식을 채택하고 있습니다.
제어 범위는 온도 21~25℃, 습도 42~48%로 설정되어 있으며, 제어도는 SV±0.05℃, SV±0.5% 수준을 유지합니다. ULPA(PTFE or Fiber glass) 및 HEPA 필터를 적용하여 청정 환경을 유지하며, BLDC 진공모터를 사용하여 고흡입력을 구현합니다. FFU 제품은 풍속 0.2~0.65m/s를 조절할 수 있고, LED 램프와 DPT 장착 옵션을 제공합니다.
2004년 대전에서 워트주식회사를 설립했으며, 2015년 본사를 경기 화성 동탄산업단지로 이전했습니다. 2021년 중국 서안에 워트반도체기술유한공사를 설립하여 해외 거점을 확보했습니다. 2023년 11월 소재·부품·장비 전문기업으로 등록되었습니다.