주식회사 이엠에스는 인천 남동구에서 첨단 부품의 표면을 설계하는 소재·코팅 기업입니다. 합금 레시피부터 코팅과 검증까지 연결하는 플라즈마 코팅 솔루션을 제공하며, 반도체와 정밀 가공 공구에 쓰이는 특수 소재를 만듭니다.
SUS316L, 하스텔로이 등 원자재를 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거칩니다. 2025년부터 인천 남동구 고잔동에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 2,620.4㎡입니다.
반도체 제조 장비의 웨이퍼 온도 제어 부품과 PCB 기판 가공 공구에 적용되어, 고온·플라즈마 환경에서의 내구성을 높이는 데 쓰입니다.
PCB 마이크로 드릴은 기판의 미세 홀을 가공할 때 쓰이며, 2μm 이하 박막 다층 코팅으로 수명을 늘립니다. 반도체 ESC 히터는 웨이퍼 온도를 균일하게 유지하는 부품으로, 99% 이상 고밀도 티타늄 합금 타겟을 직접 제조해 코팅합니다.
자체 개발한 플라즈마 코팅 장비로 카본계·금속계·세라믹계 코팅을 처리합니다. 챔버는 Ø1,000 × H1,000 mm, 진공도 5.0 × 10⁻⁵ Torr 이하를 유지하며, 공·자전 지그로 코팅 균일성을 높입니다. 슬러리 온도 등 운전 데이터를 MES로 수집해 레시피를 축적합니다.
2024년 장비 국산화 사업으로 플라즈마 코팅 장비를 구축했으며, 2025년 인천 남동구 고잔동으로 공장을 통합 이전했습니다. 2026년 탄소 기반 초경질 코팅용 FCVA 장비 도입을 계획하고 있습니다.