반도체 웨이퍼나 유리기판 위에 회로 패턴을 새기기 위해 포토 마스크를 정밀하게 정렬하고 자외선을 조사하는 장비를 만듭니다. 대전 유성구에 위치한 프로윈은 디스플레이 패널과 반도체 회로용 리소그래피 전후 공정에 쓰이는 이 장비를 제작합니다.
알루미늄을 원자재로 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2020년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 165.0㎡입니다.
반도체 제조 라인에서 웨이퍼나 기판에 미세 패턴을 형성하는 리소그래피 공정 단계에 배치되어 사용됩니다.
Mask Aligner는 감광액이 도포된 기판 위에 마스크를 올려 자외선으로 미세 패턴을 얻는 장비입니다. 셀 노광 시스템은 특정 영역을 선택적으로 노광하는 데 쓰이며, Spin Coater System은 기판 표면에 감광액을 균일하게 도포하는 역할을 합니다. Wet Station System은 세정 및 현상 공정을 수행하고, Exposure System은 광원을 제어하여 노광을 진행합니다. Glass Scribing Machine은 유리 기판에 절단 라인을 새기는 데 활용됩니다.
마스크 크기는 최대 14인치까지, 기판 크기는 최대 12인치까지 대응합니다. 자외선 파장은 350~450nm 범위를 다루며, 정렬 정확도는 1㎛ 수준입니다. 수동, 반자동, 전자동 모드를 지원하며, 진동 방지 테이블과 CCD 마이크로스코프를 옵션으로 제공합니다.
대전광역시 대덕구 산업단지로 116번길 84에 추가 공장이 있습니다.