(주)선진파워텍

경기도 평택시에 있는 선진파워텍은 반도체 제조 공정에 들어가는 기능성 소재 부품을 가공하는 기업입니다. 반도체 핵심 장비인 식각 장비에 사용되는 실리콘카바이드 소재를 고객이 필요로 하는 규격과 형태에 맞춰 정밀하게 가공하여 공급합니다. 실리콘카바이드 원자재를 활용하여 정밀 가공 공정을 수행합니다. 평택진위3일반산업단지 내 제조시설 면적 2054.5㎡ 규모의 공장을 운영하고 있으며, 2021년부터 현재의 평택 사옥에서 생산 체계를 갖추어 운영해 왔습니다. 반도체 제조 장비 중 웨이퍼를 가공하는 식각 공정용 부품으로 쓰여 반도체 생산 산업 전반에 공급됩니다. 주요 제품인 SIC 포커스 링은 반도체 식각 장비 내에서 웨이퍼를 고정하고 공정 환경을 일정하게 유지하는 역할을 합니다. 함께 생산하는 SIC 웨이퍼 핸들링 툴은 웨이퍼를 안전하게 옮기거나 다룰 때 사용하는 전용 부품으로 정밀한 작업이 필요한 반도체 라인에서 필수적으로 사용됩니다. 실리콘카바이드와 같은 고경도 소재를 다루기 위해 정밀 연마 및 절삭 가공 공법을 적용합니다. 원통 연마기, CNC 로터리 연마기, MCT 설비를 활용해 고객이 요구하는 형상으로 가공하며, 접촉식 3차원 측정기를 사용하여 200mm 기준 1.9㎛ 수준의 정밀도를 유지하며 직접 가공을 수행합니다. Ø650에서 Ø325까지 다양한 규격의 원통 연마기와 Ø600 CNC 로터리 연마기, 4.5호에서 6.5호까지의 MCT 설비를 보유하고 있습니다. 2017년 11월 법인으로 전환하였고, 2021년 9월 평택 진위면으로 본점을 확장 이전하였습니다. 현재 평택 공장 외에 경기도 안성시 원곡면에 안성 공장을 추가로 운영 중입니다.