(주)라드피온은 대전 유성구에서 반도체 제조 및 고고과학 분석에 필요한 이온빔 장비와 관련 부품을 생산합니다. 이온빔 기술을 응용하여 반도체 제조 공정에서 발생하는 정전기를 제어하는 부품을 제작하고, 문화재의 성분과 연대를 비파괴 방식으로 정밀하게 분석하는 장비를 개발합니다.
고순도 가스인 질소, 아르곤, 제논과 구리, 티타늄, 크롬 등 고순도 금속 원자재를 활용하여 정밀가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2023년부터 대덕테크노밸리 내 지식산업센터에서 공장을 운영하고 있으며, 제조 시설 면적은 158.7㎡ 규모입니다.
반도체 제조 공정의 수율 향상을 돕는 정전기 제어 부품과 생산 장비를 공급하여 반도체 및 디스플레이 산업 현장에 쓰입니다.
이온주입장치는 반도체 웨이퍼 등에 이온을 주입하여 물성을 변화시키는 설비입니다. 제전부품은 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 미세 정전기 방전을 효과적으로 제어하여 생산 수율을 높이는 데 쓰입니다. 절대연대측정 장비는 이온빔 분석 기술을 활용하여 문화재의 손상 없이 성분과 연대를 정밀하게 측정합니다.
대면적 및 고전류 이온 주입 공법을 전문으로 다룹니다. 가스 및 금속 이온을 활용한 이온빔 조사 기술을 보유하고 있으며, 원자 단위 계면에서 이온빔을 혼합하는 이종 직접 접합 기술을 적용합니다. 이온원 설계부터 가속기 시스템 구축까지의 과정을 직접 수행하며, 초고진공 챔버 제작과 같은 고정밀 가공 역량을 갖추고 있습니다.
이온빔 가속기 시스템, 고전압 전원 공급 장치, 자기장 측정 및 제어 시스템, 진공 펌프 등을 운용합니다. 2023년 대덕비즈센터로 사업장을 등록하여 운영 중이며, 4축 지그 시스템을 갖춘 다목적 이온 주입기 등을 통해 대면적 이온 조사 작업을 수행합니다.