반도체와 디스플레이, 태양광 패널의 표면에 얇은 막을 입히는 진공 증착 장비를 만드는 (주)인포비온은 강원 철원군에 공장을 두고 있습니다. 이 장비는 기판 위에 나노 단위의 박막을 형성하여 전자 소자의 성능을 결정짓는 핵심 공정 설비로 쓰입니다.
필름, 기판, 전자재료, 부품류 등 원자재를 받아 정밀가공과 조립, 표면처리 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2015년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 1,920㎡입니다.
자동차·모빌리티, 방위산업, 항공·우주 산업의 정밀 부품 코팅 라인에 적용됩니다.
IBSD(Ion Beam Sputtering Deposition) 시스템은 이온빔을 타겟에 충돌시켜 기판에 박막을 증착하는 장비로, 300mm 기판 4장까지 균일한 코팅이 가능합니다. Ion Beam Treatment Sputter 시스템은 350mm 기판까지 균일한 막을 입히며 절연체, 금속, 반도체 등 다양한 재료의 증착에 쓰입니다. Combi IBD System은 이진 또는 삼원계 합금의 이상적인 조성비를 빠르게 찾기 위한 조합형 박막 제작에 사용됩니다.
이온빔 에너지와 밀도를 독립적으로 조절하여 재현성과 신뢰성을 확보하는 공법을 적용합니다. 저온 공정에서 고진공 상태로 증착하여 박막 내부의 아르곤 가스 오염을 배제하며, 기판과 박막의 접착력을 높이는 것이 특징입니다. RF Round Ion Source, Linear Ion Source, EBA Source 등 다양한 진공 부품을 직접 개발하여 장비에 탑재합니다.
2000년 설립 후 2003년 공장 등록을 마쳤으며, 2013년 철원 공장 및 연구시설을 가동하기 시작했습니다. 2021년 본사를 경기도 부천시로 이전했고, 2023년 철원 제4공장 준공식을 가졌습니다. 2025년 3월에는 강원국방벤처센터와 업무 협약을 체결했습니다.