(주)비텍

경기 평택시에 자리한 비텍은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 표면을 평탄하게 연마하는 CMP 장비와 관련 부품, 그리고 친환경 화학 소재를 생산하는 기업입니다. 이 장비들은 반도체 회로 형성 과정에서 웨이퍼의 미세한 굴곡을 제거하고 표면을 매끄럽게 다듬는 공정에 필수적으로 사용됩니다. 친환경 계면활성제 등 다양한 화학 원료 물질을 배합하고 정밀 가공 기술을 적용하여 제품을 생산합니다. 2020년부터 평택 포승 일반산업단지 내 공장을 운영하고 있으며 제조시설 면적은 574.1㎡ 규모입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 산업용가스 품목은 전국에 429곳, 경기 평택시 10곳 있습니다. 반도체와 디스플레이 산업 분야에 주로 공급되며 미세 공정이 중요한 플랜트 설비 및 의료·헬스케어 기기 제작 공정의 자동화 라인에 적용됩니다. 웨이퍼 연마 서비스는 4인치부터 12인치 규격까지 대응하며 반도체 웨이퍼의 정밀도를 높이는 공정에 쓰입니다. EFEM 시스템은 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로드포트 제조 장비이며, 화학 물질 공급 장치인 CDS는 공정에 필요한 약품을 안정적으로 제어하고 공급하는 역할을 합니다. 이 외에도 웨이퍼 정렬을 돕는 얼라이너와 반전 장치 등을 제작합니다. 반도체 공정 장비의 설계부터 개발 및 조립 공정을 직접 수행하며, CMP 공정 기술을 기반으로 금속 및 비금속 소재를 미세하게 가공합니다. 쿼츠 웨이퍼의 규격별 연마 공법과 더불어 정밀 제어 시스템인 PLC 설계 및 서보 모터 구동 모듈 통합 기술을 보유하고 있습니다. 이를 통해 반도체 장비의 자동화 설루션과 하드웨어 파츠를 맞춤형으로 생산합니다. 주요 설비로는 200mm 및 300mm 웨이퍼 CMP 데모 장비와 연마 시스템을 갖추고 있습니다. 2018년 사업자 등록 이후 CMP 기술 개발을 시작하여 2020년 평택 공장을 준공하였습니다. 2022년부터 웨이퍼 연마 서비스를 개시하고 화학 물질 공급 장치인 CDS 개발을 완료하여 상용화에 성공하였습니다.