(주)디아이엔텍

경기 김포시에 위치한 디아이엔텍은 반도체 및 디스플레이 공정 장비에 필수적으로 들어가는 고무 부품을 제조하는 회사입니다. 이 제품들은 반도체 제조 공정의 핵심 장비인 챔버나 가스 라인 등에서 틈새를 메워 내부 기체가 밖으로 새지 않게 하거나 외부 이물질 유입을 차단하는 역할을 합니다. 고무 화합물을 이용한 사출 및 플라스틱 성형 공법을 통해 정밀한 규격의 부품을 생산합니다. 2018년부터 김포양촌일반산업단지 내 현 사업장에서 제조 시설을 운영하고 있으며, 제조 시설 넓이는 1839.5㎡ 규모로 같은 품목 공장 659곳 가운데 상위 25%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 경기 김포시에 20곳 있습니다. 반도체 제조 장비 부품으로 쓰이는 만큼, 산화막 형성 공정이나 플라즈마 식각, 증착 공정 등 고온과 화학적 부식이 일어나는 반도체 산업 라인 전반에 사용됩니다. 주력 생산품인 오링(O-ring)은 장비 내부의 밀폐를 유지하는 링 형태의 부품으로 챔버 덮개나 가스 주입구에 쓰입니다. 쿼츠 로드 씰은 반도체 장비 내 석영 로드를 고정하고 밀봉하며, 가스 인렛 씰은 장비 안으로 가스가 유입될 때 새지 않도록 차단하는 핵심 부품입니다. 이들은 모두 고온 환경과 플라즈마 노출을 견디도록 설계되었습니다. 내열성과 내화학성이 있는 특수 고무 컴파운드를 직접 배합하여 성형합니다. 특히 반도체 공정에서 문제가 되는 파티클 발생을 최소화하기 위해 별도의 필러를 사용하지 않는 공법을 적용하며, 생산 및 검사, 포장 과정까지 모두 클린룸 환경에서 진행하여 제품의 정밀도를 유지합니다. 생산 공정 전반을 제어하는 성형 설비와 고온 환경 테스트가 가능한 연구 장비를 갖추고 있습니다. 2018년 김포 공장을 등록한 이후, 반도체 산업 성장에 맞춰 클린룸 시설을 확장하고 생산 설비를 증설하며 공정 능력을 강화해 왔습니다.