(주)솔머티리얼즈

충북 청주시에 있는 솔머티리얼즈는 반도체와 디스플레이 공정에 필수적인 이산화탄소(CO2)를 비롯하여 다양한 산업용 가스를 제조하고 정제하여 공급하는 기업입니다. NO, 브롬화수소, 실란, 수소, 질소, 헬륨 등의 원료를 받아 정제 및 합성 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 제조 시설은 2011년부터 가동을 시작하였으며, 건축면적 4565.7㎡와 제조시설면적 2991.0㎡ 규모의 공장을 운영하고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「산업용가스」 품목은 전국에 429곳, 충북 청주시에 14곳 있습니다. 반도체 제조와 디스플레이 생산 공정 전반에 걸쳐 식각, 세정, 증착 등의 작업에 활용되며, 대규모 생산 시설을 갖춘 플랜트나 인프라 분야, 의료 및 헬스케어 산업으로도 제품이 나갑니다. 이산화탄소(CO2)는 고순도 정제를 거쳐 반도체 제조 공정의 세정 작업에 쓰입니다. 헬륨(He)은 반도체 웨이퍼 운송을 위한 캐리어 가스나 공정 라인 내부의 불순물을 제거하는 퍼지 공정에 사용되며, 브롬화수소(HBr)는 미세 회로를 정밀하게 깎아내는 식각 공정에 필수적인 재료입니다. 각종 특수가스의 순도를 극대화하기 위해 직접 정제 및 합성 설비를 운영하고 있으며, 혼합 가스 제조 기술을 보유하여 고객사 요구에 맞춘 정밀 배합을 수행합니다. 고압 가스를 안전하게 다루기 위해 정제 공정부터 분석 시스템까지 내재화하여 다루고 있습니다. 2007년 시작하여 2011년 1공장 및 2공장을 완공하였고, 이후 헬륨, 브롬화수소 정제 설비와 사불화탄소(CF4) 설비를 순차적으로 구축했습니다. 최근에는 2024년 HBr 및 3MS 합성 정제 설비, 2025년 고순도 액체 이산화탄소 저장 및 분석 시스템을 갖추는 등 설비 증설을 지속하고 있습니다.