반도체 식각 공정에서 웨이퍼를 고정하는 부품이나 인공위성의 반사경에 쓰이는 탄화규소 소재를 만듭니다. 경북 구미시에 있는 (주)오렌지머티리얼즈는 탄소와 규소를 결합해 만든 이 소재를 기반으로 다양한 산업용 부품을 생산합니다.
탄소와 규소, 티타늄, 구리, 알루미나 등을 원료로 사용해 탄화규소와 탄소복합체를 제조합니다. 2014년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 19,418.9㎡입니다.
반도체 웨이퍼 세정 및 식각 공정에 쓰이는 부품과 방위산업용 전차 안정거울, 우주항공용 반사경 소재로 공급됩니다.
반도체 공정용 SiC 포커스링은 식각 시 웨이퍼를 균일하게 고정하는 역할을 합니다. 웨이퍼 세정 공정용 SiC Arm and Pin은 세정액이 웨이퍼 표면에 고르게 분사되도록 돕는 부품입니다. 인공위성과 무인항공기용 SiC 반사경은 고탄성과 저열팽창 특성을 이용해 정밀한 광학 신호를 전달합니다.
ACM 공법을 통해 소결 조제 없이 자체 생산한 100% 탄소체를 소성하고 순수 규소를 반응시켜 99.999% 순도의 탄화규소를 제조합니다. Bonding Stage는 평면도 1um 이내로 가공하며, 3차원 측정장비와 Zygo 측정장비를 이용해 데이터를 제공합니다.
2008년 고온진공로를 설치해 가동을 시작했고, 2022년 MCT와 연마 장비를 갖춘 가공 및 세정 공정 설비를 증설했습니다. 2025년 3동 공장 신축과 핫프레스 설비 설치를 완료했습니다.