(주)이룸하이텍

경기 안산시 시화멀티테크노밸리에 자리한 (주)이룸하이텍은 반도체 제조 공정이나 다양한 산업 설비에 필수적인 진공증착장비를 개발하고 제작합니다. 이 장비는 대상물 표면에 얇은 막을 입혀 특수한 물리적 성질을 부여하는 데 사용됩니다. 이 회사는 스테인리스강과 같은 금속 소재를 정밀하게 가공하고 조립하는 공정을 거쳐 장비를 생산하며, 2021년부터 시화멀티테크노밸리 내의 제조 시설에서 운영을 이어오고 있습니다. 제조 시설과 건축 면적은 각각 264㎡ 규모입니다. 진공증착장비와 DLC 코팅 기술은 자동차 엔진 부품의 내구성을 높이거나 반도체 제조용 금형의 소착 및 대전을 방지하는 등 정밀 기계와 금형 산업 전반에서 폭넓게 쓰입니다. 주력 제품인 PECVD 장비는 탄화 가스를 이용한 플라즈마로 표면을 증착하여 평면 소재 코팅에 활용하며, Hybrid PVD 장비는 금속이나 흑연을 증발시켜 3차원 형상의 부품을 고경도로 코팅하는 데 쓰입니다. 또한 Linear Ion Source와 Sputter는 진공 장비의 핵심 구성 요소로 코팅 공정의 정밀도를 결정짓는 장치입니다. 플라즈마 이온을 활용한 DLC 코팅 기술을 바탕으로 PECVD 및 PVD 공법을 직접 설계하고 수행합니다. 스테인리스강 등 다양한 재질을 다루며, 표면 형상 프로파일링을 위한 Surface Profiler와 내부 잔류 응력을 측정하는 Scratch Tester 등을 사용하여 정밀하게 박막 상태를 제어합니다. 2020년 설립 이후 DLC 코팅 장비 1호기와 2호기를 연이어 도입하며 생산 능력을 갖추었습니다. 2021년에는 금형 및 비철금속을 위한 대전방지 DLC 코팅 공정을 개발하는 등 기술 범위를 확장해 왔으며, 안산시에 본사 및 제조 시설을 운영하고 있습니다.