(주)한주하이텍

충남 천안시에 위치한 한주하이텍은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 자동화 설비를 만드는 기업입니다. 반도체 웨이퍼를 가공하거나 세척하는 장비, 그리고 제품을 안전하게 이송 및 저장하는 시스템을 전문적으로 제작합니다. 금속 소재를 받아 정밀 가공하고 이를 조립하는 방식으로 장비를 생산합니다. 2019년부터 천안풍세일반산업단지에 자리한 현재 공장에서 운영해 왔으며, 같은 품목을 만드는 공장 659곳 가운데 제조 시설 넓이는 상위 10%에 해당합니다. 반도체 제조 라인에서 웨이퍼를 코팅하거나 세척하고, 완성된 제품을 저장하는 공정 자동화 설비로 공급됩니다. PHOTO 설비는 웨이퍼 표면에 감광액을 바르는 코팅이나 현상 공정에 쓰이는 장비입니다. CLEAN 설비는 300mm 웨이퍼를 매엽식으로 세척하며 세정, 식각, 스트립 공정을 수행합니다. 반도체용 Stocker는 카세트 단위의 웨이퍼를 질소 분위기에서 안전하게 보관하거나 유량을 제어하여 자동으로 이송 및 저장하는 시스템입니다. 정밀 가공 기술을 바탕으로 고속 스핀 회전 제어와 화학 약액 배관 설계, 누출 관리 기술을 확보하고 있습니다. 반도체 장비 제작에 필수적인 매엽식 챔버 유닛 제작 역량을 갖추었으며, 공정 환경에 최적화된 질소 퍼지 시스템 등을 직접 구축합니다. 2010년 한주반도체로 법인 등록한 후 2019년 현재의 천안 공장으로 이전하였으며, 2023년 한주하이텍으로 사명을 변경하였습니다. 주요 생산 설비와 조립 라인을 갖추어 반도체 전공정 설비 제작에 대응하고 있습니다.