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승온탈리분석(TDS, Thermal Desorption Spectroscopy) 기술을 기반으로 초고진공 환경에서 시료 표면에서 탈리되는 가스를 측정·분석하여 기체 방출량의 변화와 조성을 극미량까지 정성·정량적으로 정밀 진단합니다.

사중극자 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer)와 승온 맵핑 기법을 결합하여, 국소 지향적이고 방향 지향적인 웨이퍼 실시간 불순물 측정 및 정성·정량 동시 분석 시스템 기술을 구축하였습니다.

NIST 표준물질(SRM 2453a)을 이용한 캘리브레이션 기술을 비롯하여 300mm 반도체 웨이퍼, 디스플레이용 유리 기판(SiO₂) 유기박막, 스테인리스강(SUS) 내 수소 방출 등 다양한 산업 소재에 대한 분석 데이터와 신뢰성을 확보하고 있습니다.

• 적외선 가열 시스템 (IR Heating System): 비접촉 360° 국소 가열, 최대 승온 속도 150 ℃/s, 최고 가열 온도 1,500 ℃, 최대 5 × 10⁻⁹ Pa 진공도 가열 (GVH198, GVH298, GV198, GVL298)

• DC 마그네트론 스퍼터 (DC Magnetron Sputter): 단일 및 다중 스퍼터 소스(3"~8"), 3 kW~10 kW 고전압 전원공급장치, 기판 가열(100~400 ℃) 및 회전 제어

• 전자빔 증착 시스템 (E-Beam Evaporation System): 수냉식 도가니(4~75 cc) 단일/멀티 포켓 E-Beam 소스, 3 kW~15 kW 고전압 전원공급장치, X-Y 빔 스위프 컨트롤러

• 진공 퍼니스 (Vacuum Furnace): 가동 온도 500 ℃ ~ 2,300 ℃, 작업 영역 300 mm³ ~ 500 mm³, 진공/Ar 분위기 제어, 자동 벤트 및 방사 온도계 구비

• 맞춤형 진공 시스템 및 부품 (Customized Vacuum System & Components): 대학 및 연구기관 맞춤형 진공 챔버, 배관 및 진공 제어 부품

• 리튬 티타늄 산화물 세라믹 페블 (Li₂TiO₃ Ceramic Pebbles): 핵융합로 삼중수소 증식재용, 직경 1.0 (±0.05) mm, 진구도 < 0.05 mm, 순도 < 10 ppm

• 반도체 웨이퍼용 승온탈리분석기 (fTDS): 최대 Ø300 mm 웨이퍼 대응, 질량 범위 1~512 amu, 전체 가열 최대 950 ℃ / 국소 가열 최대 1,400 ℃, 측정 챔버 < 5 × 10⁻⁹ mbar, 전자동 데이터 수집(DAQ) 시스템

• 철강 및 소형 샘플용 승온탈리분석기 (sTDS): 20 mm × 20 mm × 3 mm 이하 소형 샘플 수소 정성·정량 분석, 질량 범위 1~200 amu, IR Rod 가열 최대 1,400 ℃, 5 × 10⁻¹⁰ mbar 이하 극초고진공 분석

• 디스플레이 재료용 승온탈리분석기 (dTDS): 최대 100 mm × 100 mm 유리 기판 및 유기박막 분석, 질량 범위 1~200 amu, IR 가열 최대 900 ℃, 측정 챔버 < 1 × 10⁻⁹ mbar

• 복합 승온탈리분석기 (Complex TDS): 최대 Ø20 mm × 50 mm 샘플 대응, 질량 범위 1~200 amu, IR Rod 가열 최대 800 ℃, 공정 챔버 < 5 × 10⁻⁸ mbar

• 사용자 맞춤형 승온탈리분석기 (User defined TDS): 최대 Ø30 mm × 50 mm 샘플 대응, 질량 범위 1~200 amu, IR 가열 최대 900 ℃, 측정 챔버 < 1 × 10⁻⁹ mbar

• 핵융합로용 세라믹 페블(Li₂TiO₃) 제조 시스템: 연간 50 kg 이상 생산 가능 (특허 기반 디스펜싱 및 세척 기술 적용, 전자동 운전)

• 중소벤처기업청 수출유망기업 지정 (2020년 7월)

• 한국산업기술평가원 소재부품전문기업 인증 (2020년 6월)

• 한국표준과학연구원 홈닥터기업 지정 (2020년 5월)

• 한국산업안전보건공단 KOSHA 18001 인증 (2018년 11월)

• 안전보건경영시스템 K-OHSMS / OHSAS 18001 인증 (2018년 10월)

• 한국표준과학연구원 기술혁신 선도 제1호 기업 선정 (2018년 2월)

• 국가핵융합연구소 패밀리 기업 선정 (2014년 1월)

• 한국표준과학연구원 패밀리기업 선정 (2013년 3월)

• 기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 인증 (2011년 10월)

• 기업부설연구소 인증 (2010년 12월)

• 부품 소재 전문기업 인증 (2009년 6월)

• 벤처기업 인증 (2008년 12월)

• 제17회 대구경북 첨단벤처 산업대상 중기부 장관표창 (2017년 12월)

• 제18회 중소기업기술혁신대전 대통령표창 (2017년 9월)

• 중소기업 기술개발지원사업 우수성공사례 3년 연속 선정 (2017년 7월)

• 특허 등록: 핵융합로용 리튬세라믹페블 제조장치 (제10-1727536호, 2017년 4월)

• 모범납세자 표창 (2014년 3월)