대구 북구에 있는 (주)아이브이티는 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필수적인 진공 장비 및 정밀 부품을 생산하는 기업입니다. 여기서 만드는 진공 장비와 부품은 초고진공 환경을 구현하여 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판의 오염을 측정하고 분석하는 데 쓰이는 첨단 설비입니다. 원자재를 정밀하게 가공하고 조립하는 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설은 270.9㎡ 규모입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 대구 북구 4곳 있습니다. 반도체와 디스플레이 산업 현장에 쓰이는 장비로, 공정 내 불순물을 측정하거나 박막을 증착하는 등의 핵심 공정에 활용됩니다. 주요 제품은 승온탈리분석기(TDS)로 반도체 웨이퍼나 디스플레이 재료의 온도를 높여 탈리되는 가스를 분석하여 불순물을 검사합니다. 웨이퍼용 fTDS는 300mm급 웨이퍼의 정성·정량 분석이 가능하며, 금속 샘플용 sTDS는 1,400℃ 고온 환경에서 수소 취성 등을 분석합니다. 또한 진공 증착 장비인 E-beam Evaporation System과 DC Magnetron Sputter를 통해 기판에 금속 및 비금속 물질을 증착하며, 이 외에도 반도체용 퍼니스와 케미컬용 밸브, 고객 설계 사양에 맞춘 맞춤형 진공 챔버를 공급합니다. 진공 환경에서 저항 열이나 플라즈마를 이용하여 물질을 증착하는 진공 증착 공법과 극미량의 가스를 측정하는 분석 기술을 보유하고 있습니다. 특히 온도와 시간에 따른 기체 조성 변화를 정밀하게 정량·정성 분석하는 기술을 사용하며, 초고진공 환경 유지 및 정밀 제어 설계를 통해 10^-10mbar 수준의 진공도를 구현합니다. 연구소와 공동 프로젝트를 통해 정밀 부품 제작 및 첨단 진공 장비 제작 기술을 고도화하고 있습니다. 2008년 설립되었으며, 2011년 현재의 공장을 등록하여 운영 중입니다. 보유한 설비로는 고진공 펌프 시스템, 적외선 가열 장치(IR Heating System), 질량 분석기(QMS) 등이 있으며 대량의 샘플을 정밀하게 처리할 수 있는 제조 환경을 갖추고 있습니다. 기술 개발 이력으로 2018년 세계 최초 클러스터형 웨이퍼 불순물 정량 분석 장비 개발 및 다수의 TDS 시스템 선진화 기술을 확보하였습니다.
공장등록 공공데이터와 회사 홈페이지 글만을 바탕으로 AI가 작성한 소개입니다. 실제와 다를 수 있습니다.
㈜아이브이티(Infinity Vacuum Technology)는 2008년 설립되어 반도체 및 디스플레이 제조에 관련된 진공장비, 검사장비, 정밀부품 등 첨단 제품을 전문적으로 공급하는 오염측정분석 선도기업입니다.
연구용 소형장비에서부터 생산용 대형장비에 이르기까지 연구용 진공장비, 반도체 검사장비, 생산용 디스플레이 공정장치, 반도체용 퍼니스, 케미컬용 밸브 등을 고객 맞춤형으로 제작·납품하고 있습니다.
한국표준과학연구원(KRISS) 반도체측정장비팀의 기술적 지원과 함께 기술혁신 선도 제1호 기업으로 선정되었으며, 삼성전자, 국가핵융합연구소 등 주요 첨단 산업체 및 정부출연연구기관과의 협력을 통해 소재·부품·장비 국산화 개발 사업을 전개하고 있습니다.
승온탈리분석(TDS, Thermal Desorption Spectroscopy) 기술을 기반으로 초고진공 환경에서 시료 표면에서 탈리되는 가스를 측정·분석하여 기체 방출량의 변화와 조성을 극미량까지 정성·정량적으로 정밀 진단합니다.
사중극자 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer)와 승온 맵핑 기법을 결합하여, 국소 지향적이고 방향 지향적인 웨이퍼 실시간 불순물 측정 및 정성·정량 동시 분석 시스템 기술을 구축하였습니다.
NIST 표준물질(SRM 2453a)을 이용한 캘리브레이션 기술을 비롯하여 300mm 반도체 웨이퍼, 디스플레이용 유리 기판(SiO₂) 유기박막, 스테인리스강(SUS) 내 수소 방출 등 다양한 산업 소재에 대한 분석 데이터와 신뢰성을 확보하고 있습니다.
적외선 가열 시스템 (IR Heating System): 비접촉 360° 국소 가열, 최대 승온 속도 150 ℃/s, 최고 가열 온도 1,500 ℃, 최대 5 × 10⁻⁹ Pa 진공도 가열 (GVH198, GVH298, GV198, GVL298)
DC 마그네트론 스퍼터 (DC Magnetron Sputter): 단일 및 다중 스퍼터 소스(3"~8"), 3 kW~10 kW 고전압 전원공급장치, 기판 가열(100~400 ℃) 및 회전 제어
전자빔 증착 시스템 (E-Beam Evaporation System): 수냉식 도가니(4~75 cc) 단일/멀티 포켓 E-Beam 소스, 3 kW~15 kW 고전압 전원공급장치, X-Y 빔 스위프 컨트롤러
진공 퍼니스 (Vacuum Furnace): 가동 온도 500 ℃ ~ 2,300 ℃, 작업 영역 300 mm³ ~ 500 mm³, 진공/Ar 분위기 제어, 자동 벤트 및 방사 온도계 구비
맞춤형 진공 시스템 및 부품 (Customized Vacuum System & Components): 대학 및 연구기관 맞춤형 진공 챔버, 배관 및 진공 제어 부품
리튬 티타늄 산화물 세라믹 페블 (Li₂TiO₃ Ceramic Pebbles): 핵융합로 삼중수소 증식재용, 직경 1.0 (±0.05) mm, 진구도 < 0.05 mm, 순도 < 10 ppm
반도체 웨이퍼용 승온탈리분석기 (fTDS): 최대 Ø300 mm 웨이퍼 대응, 질량 범위 1~512 amu, 전체 가열 최대 950 ℃ / 국소 가열 최대 1,400 ℃, 측정 챔버 < 5 × 10⁻⁹ mbar, 전자동 데이터 수집(DAQ) 시스템
철강 및 소형 샘플용 승온탈리분석기 (sTDS): 20 mm × 20 mm × 3 mm 이하 소형 샘플 수소 정성·정량 분석, 질량 범위 1~200 amu, IR Rod 가열 최대 1,400 ℃, 5 × 10⁻¹⁰ mbar 이하 극초고진공 분석
디스플레이 재료용 승온탈리분석기 (dTDS): 최대 100 mm × 100 mm 유리 기판 및 유기박막 분석, 질량 범위 1~200 amu, IR 가열 최대 900 ℃, 측정 챔버 < 1 × 10⁻⁹ mbar
복합 승온탈리분석기 (Complex TDS): 최대 Ø20 mm × 50 mm 샘플 대응, 질량 범위 1~200 amu, IR Rod 가열 최대 800 ℃, 공정 챔버 < 5 × 10⁻⁸ mbar
사용자 맞춤형 승온탈리분석기 (User defined TDS): 최대 Ø30 mm × 50 mm 샘플 대응, 질량 범위 1~200 amu, IR 가열 최대 900 ℃, 측정 챔버 < 1 × 10⁻⁹ mbar
핵융합로용 세라믹 페블(Li₂TiO₃) 제조 시스템: 연간 50 kg 이상 생산 가능 (특허 기반 디스펜싱 및 세척 기술 적용, 전자동 운전)
중소벤처기업청 수출유망기업 지정 (2020년 7월)
한국산업기술평가원 소재부품전문기업 인증 (2020년 6월)
한국표준과학연구원 홈닥터기업 지정 (2020년 5월)
한국산업안전보건공단 KOSHA 18001 인증 (2018년 11월)
안전보건경영시스템 K-OHSMS / OHSAS 18001 인증 (2018년 10월)
한국표준과학연구원 기술혁신 선도 제1호 기업 선정 (2018년 2월)
국가핵융합연구소 패밀리 기업 선정 (2014년 1월)
한국표준과학연구원 패밀리기업 선정 (2013년 3월)
기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 인증 (2011년 10월)
기업부설연구소 인증 (2010년 12월)
부품 소재 전문기업 인증 (2009년 6월)
벤처기업 인증 (2008년 12월)
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