SK머티리얼즈는 1982년 설립 이후 2001년 국내 최초로 삼불화질소(NF3) 특수가스 국산화에 성공한 반도체·디스플레이 소재 전문 기업으로, 글로벌 최고 수준의 Gas & IT 소재 Total Solution Provider를 지향하고 있습니다.
삼불화질소(NF3) 세계 시장 점유율 1위(40% 이상), 육불화텅스텐(WF6) 생산량 세계 1위, 모노실란(SiH4) 세계 2위의 경쟁력을 갖추고 있으며, SK에어가스·한유케미칼 인수와 SK트리켐·SK쇼와덴코 합작법인 설립을 통해 산업가스, 전구체, 식각가스, 고기능성 Wet Chemical 등으로 사업 영역을 다각화했습니다.
경상북도 영주 본사 및 공장을 거점으로 중국(진강, 시안, 상해), 대만, 일본 등지에 생산 및 판매 네트워크를 구축하여 글로벌 시장 확대를 주도하고 있습니다.
세정가스: 삼불화질소(NF3), 이산화탄소(CO2)
증착가스: 육불화텅스텐(WF6), 모노실란(SiH4), 모노클로로실란(SiH3Cl), 디실란(Si2H6), 디클로로실란(SiH2Cl2)
산업가스: 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar)
식각가스: 모노플루오로에탄(CH3F), 디플루오로메탄(CH2F2), 트리플루오로메탄(CHF3), 육불화부타디엔(C4F6), 옥타플루오로사이클로부탄(C4F8), 헥사플루오로에탄(C2F6), 기체 불화수소(HF gas)
전구체(Precursor): Zr-프리커서, Si-프리커서, Ti-프리커서, Hf-프리커서
고기능성 Wet Chemical: 고선택비인산(HSP), 텅스텐식각액
기타 고순도가스: 크립톤(Kr), 사염화규소(SiCl4)
SK머티리얼즈 중국 진강법인(SK materials Jiangsu Co., Ltd.): 삼불화질소(NF3) 1,500톤/년
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