반도체와 디스플레이 제조 공정에 쓰이는 특수가스를 만드는 효성네오켐 용연은 울산 남구에 자리하고 있습니다. 이 가스는 칩을 세척하거나 식각할 때 필요한 핵심 소재로, 미세한 공정에서 필수적인 역할을 합니다.
불산과 암모니아를 원료로 삼아 전기분해 반응과 초저온 정제 과정을 거쳐 고순도 가스를 생산합니다. 2025년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 117,174㎡에 이릅니다.
반도체와 디스플레이 제조 라인에서 식각 및 세정 공정으로 이어지며, 플랜트 인프라와 의료 헬스케어 분야에도 적용됩니다.
주력 제품인 NF3는 불산과 암모니아를 원료로 전기분해 및 초저온 정제를 통해 5N(99.999%) 고순도로 만듭니다. 반도체 및 디스플레이 제조 중 CVD 챔버 세정과 식각 공정에 쓰입니다. 20%F2/N2는 고순도 F2와 N2를 혼합해 생산하며, LP_CVD 장비의 챔버 세정용으로 사용됩니다. D2는 중수를 원료로 전기분해하여 소자 계면 결함을 줄이는 열처리 공정 소재로 공급합니다.
독자적 기술로 고순도 NF3를 개발했으며, 전기분해 공법을 활용해 다양한 특수가스를 자체 생산합니다. 프로필렌, 염소, 염화수소 등 폭넓은 포트폴리오를 갖추고 있어 고객사의 요구 규격에 맞춰 소재를 공급합니다.
용연, 옥산, 취저우(중국) 등 다각화된 생산 거점을 기반으로 안정적인 공급 체계를 구축하고 있습니다. 연구소, 영업, 생산 조직이 유기적으로 협력하여 반도체 및 디스플레이 산업의 기술 로드맵에 선제적으로 대응하고 있습니다.