대전 유성구에 위치한 (주)인투코어테크놀로지는 반도체와 디스플레이 제조 과정에서 발생하는 가스를 분해하는 플라즈마 장치를 만듭니다. 반도체 생산 공정 중 환경 유해 물질을 처리하는 데 필요한 핵심 설비입니다.
반도체 장비 제작에 필요한 각종 재료를 받아 정밀가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2024년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 제조 시설 넓이는 1002.8㎡입니다. 대덕연구단지 내 제조공장 277곳이 모인 곳에 자리하고 있습니다.
진공·챔버·세정 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 50%에 듭니다.
반도체 및 디스플레이 생산 라인에서 배출되는 가스를 정화하는 공정 장비로 쓰입니다.
주력으로 생산하는 RPS와 플라즈마 가스 분해장치는 반도체 및 디스플레이, 환경에너지 분야에서 유해 가스를 처리하는 용도로 사용됩니다. 플라즈마 기술을 바탕으로 장치를 설계 및 제작하며 정밀가공 공법을 통해 주요 부품을 제조합니다.
정밀가공을 위한 조립 설비를 갖추고 있습니다. 2024년 공장 등록을 마치고 현재까지 운영 중입니다.